[发明专利]分散有C颗粒的Fe‑Pt‑Ag‑C基溅射靶及其制造方法有效
| 申请号： | 201380014650.5 | 申请日： | 2013-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN104169458B | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 佐藤敦;高见英生 | 申请（专利权）人： | 吉坤日矿日石金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;G11B5/851 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 王海川,穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分散 颗粒 fe pt ag 溅射 及其 制造 方法 | ||
1.一种烧结体溅射靶，其为以原子数比计具有(Fe100-X-PtX)100-Y-Z-AgY-CZ的组成的Fe-Pt-Ag-C基烧结体溅射靶，其中，X为满足35≤X≤55的数、Y为满足0.5≤Y≤15的数、Z为满足15≤Z≤55的数，
相对密度为93％以上。
2.如权利要求1所述的Fe-Pt-Ag-C基烧结体溅射靶，其具有在Fe-Pt合金中分散有C的Fe-Pt-C相和Ag相相互混合存在的组织。
3.如权利要求1所述的Fe-Pt-Ag-C基烧结体溅射靶，其具有在Fe-Pt合金中分散有C的Fe-Pt-C相和在Ag中分散有C的Ag-C相相互混合存在的组织。
4.如权利要求1所述的Fe-Pt-Ag-C基烧结体溅射靶，其具有在Fe-Pt合金中分散有C的Fe-Pt-C相、Ag相、在Ag中分散有C的Ag-C相各自相互混合存在的组织。
5.一种Fe-Pt-Ag-C基烧结体溅射靶的制造方法，其为Fe-Pt-Ag-C基溅射靶的制造方法，其特征在于，
预先制作Fe-Pt-C烧结体，将该烧结体粉碎而得到粉碎粉，将该粉碎粉与Ag粉混合，并在低于Ag的熔点的温度下烧结。
6.一种制造权利要求1、2中任一项所述的Fe-Pt-Ag-C基烧结体溅射靶的方法，其为Fe-Pt-Ag-C基溅射靶的制造方法，其特征在于，
预先制作Fe-Pt-C烧结体，将该烧结体粉碎而得到粉碎粉，将该粉碎粉与Ag粉混合，并在低于Ag的熔点的温度下烧结。
7.一种Fe-P-Ag-C基烧结体溅射靶的制造方法，其为Fe-Pt-Ag-C基溅射靶的制造方法，其特征在于，
预先制作Fe-Pt-C烧结体，将该烧结体粉碎而得到粉碎粉，将该粉碎粉与Ag粉和C粉混合，并在低于Ag的熔点的温度下烧结。
8.一种制造权利要求1、3、4中任一项所述的Fe-P-Ag-C基烧结体溅射靶的方法，其为Fe-Pt-Ag-C基溅射靶的制造方法，其特征在于，
预先制作Fe-Pt-C烧结体，将该烧结体粉碎而得到粉碎粉，将该粉碎粉与Ag粉和C粉混合，并在低于Ag的熔点的温度下烧结。
9.如权利要求5～8中任一项所述的Fe-P-Ag-C基烧结体溅射靶的制造方法，其特征在于，
将具有93％以上的相对密度的Fe-Pt-C烧结体的粉碎粉混合并烧结。
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