[发明专利]生产设备和生产方法

权利要求书

1.一种用于在箔(FO)上生产产品的生产设备，所述生产设备包括沉积区(10)，其中排列第一沉积设备(21)用于在所述箔上沉积材料层，所述生产设备还包括至少一个加工设备(31)用于加工所述沉积的层，所述加工设备排列在所述沉积区以外并且包括具有远离所述沉积区、朝向转向设备(41)的第一方向上的第一路径(31a)和从所述转向设备回到所述沉积区的第二路径(31b)的加工轨迹，所述生产设备还包括再导向设备(51a，51b)用于在所述沉积区内对所述箔进行再导向，其中所述沉积区(10)是具有出口(11a)和入口(11b)的洁净室，其中所述第一路径(31a)导向远离所述出口(11a)的第一方向并且带回所述入口(11b)，

其特征在于，在所述沉积区至少排列第二沉积设备(22)，所述箔被引导沿着所述第一和所述至少第二沉积设备通过所述加工设备。

2.如权利要求1所述的生产设备，其特征在于，第一和第二再导向设备(51a，51b)对所述箔进行再导向，从而朝向所述至少第二沉积设备(22)的输入。

3.如权利要求1所述的生产设备，其特征在于，所述沉积区包括第一子区(10a)和第二子区(10b)，其中所述第一子区中排列所述第一和所述至少第二沉积设备(21，22)并且所述第二子区中排列至少第一和第二再导向设备51a，51b，所述第二子区与所述第一子区分离。

4.如权利要求1所述的生产设备，所述生产设备包括互相一字排列的至少3个沉积设备(21、22、23、24)。

5.如权利要求1所述的生产设备，其特征在于，在所述箔(FO)宽度的至多20倍，优选至多10倍的距离(D)上互相平行排列所述加工设备(31)的第一和第二路径(31a，31b)。

6.如权利要求1所述的生产设备，其特征在于，所述转向设备(41)包括用于所述箔的第一和第二引导棒(411，412)，其各自具有与所述第一方向(-x)相倾斜的方向，并且所述第一和第二引导棒互相横向排列。

7.如权利要求1所述的生产设备，其特征在于，所述转向设备(41)和所述加工设备(31)有共同的外壳(35)。

8.如权利要求1所述的生产设备，所述生产设备包括比对设备(413；523)，其整合到转向设备(41)和/或再导向设备(52)中。

9.如权利要求1所述的生产设备，其特征在于，所述至少一个加工设备(31)的轨迹由外壳(35)封闭，排列在加工室(60)中，所述加工室的洁净室等级比所述洁净室(10)的等级高至少10倍。

10.如权利要求1所述的生产设备，其特征在于，所述第一和/或所述第二沉积设备(21，22)选自印刷设备和涂覆设备。

11.如权利要求1所述的生产设备，其特征在于，所述至少一个加工设备(31)选自干燥设备、烧结设备、退火设备、固化设备和融合设备、消融设备。

12.如权利要求1所述的生产设备，其特征在于，除了用于在所述箔(FO)上沉积层的沉积单元(213)以外，所述第一和所述第二沉积设备(21，22)中的一个或多个还包括解绕单元(211)、第一清洁/比对单元(212)、第一比对单元(212)、后固化单元(214)、检查单元、第二清洁/比对单元(215)和绕卷单元(216)中的一种或多种。

13.如权利要求1所述的生产设备，其特征在于，在加工室(60)中排列所述加工轨迹，并且其中所述洁净室(10)的面积至多为所述洁净室(10)和所述加工室(60)所占总面积的三分之一。

14.如权利要求1所述的生产设备，其特征在于，所述转向设备包括空气浮轴承。

15.用于在箔上生产产品的方法，所述方法包括以下步骤：

-用第一沉积步骤在成为洁净室的沉积区中在所述箔上沉积(S1)第一层，

-在所述沉积区外沿着远离所述沉积区的第一方向上的第一路径引导(S2)含有所述第一层的箔并且沿着朝向所述沉积区的第二路径转回，同时沿着所述第一和/或第二路径对所述第一层进行加工(S3)，

其特征在于

-在转到所述沉积区后用第二沉积步骤在所述箔上沉积(S4)第二层。