[发明专利]成膜装置内的金属膜的干洗方法有效
| 申请号： | 201380015350.9 | 申请日： | 2013-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN104220632A | 公开（公告）日： | 2014-12-17 |
| 发明（设计）人： | 梅崎智典;武田雄太;毛利勇 | 申请（专利权）人： | 中央硝子株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00;C23C16/44;C23G5/032 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 金属膜 干洗 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种干洗方法，其特征在于，该干洗方法使用β-二酮去除附着于成膜装置的金属膜，将包含β-二酮和NOx(表示NO、N2O中的至少1者)的气体用作清洁气体，使该清洁气体与处于200℃～400℃的温度范围内的该金属膜反应，从而去除该金属膜。
2.根据权利要求1所述的干洗方法，其特征在于，所述β-二酮为六氟乙酰丙酮或者三氟乙酰丙酮。
3.根据权利要求1或者权利要求2所述的干洗方法，其特征在于，在所述清洁气体中包含选自由He、Ar、N2组成的组中的至少1种以上的气体。
4.根据权利要求1所述的干洗方法，其特征在于，所述金属膜由元素周期表的第6族～第11族中的至少一种以上元素构成。
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