[发明专利]基板处理装置以及加热器清洗方法

权利要求书

1.一种加热器清洗方法，用于对加热器进行清洗，所述加热器具有红外线灯和外壳，与由基板保持单元保持的基板的上表面相对配置来对该上表面加热，其特征在于，包含以下步骤：

加热器配置工序，在加热器清洗位置，以与第一喷出口相对置的方式配置所述加热器，所述加热器清洗位置是具有所述第一喷出口的下喷嘴的上方的位置，所述第一喷出口与保持于所述基板保持单元的基板的下表面相对置并且向上方喷出液体；以及

下清洗液喷出工序，在所述基板保持单元未保持基板的状态下，对所述下喷嘴供给清洗液，从所述第一喷出口向上方喷出清洗液，从而对配置在所述加热器清洗位置的所述加热器的所述外壳的外表面供给清洗液。

2.根据权利要求1所述的加热器清洗方法，其特征在于，还包含：

上清洗液喷出工序，通过与所述下清洗液喷出工序并行地，从配置于所述第一喷出口上方的上喷嘴向下方喷出清洗液，对所述外壳的外表面供给清洗液。

3.根据权利要求1或2所述的加热器清洗方法，其特征在于，还包含：

着液位置移动工序，与所述下清洗液喷出工序并行地，使从所述第一喷出口喷出的清洗液在所述外壳的外表面的着液位置移动。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的加热器清洗方法，其特征在于，还包含：

干燥工序，在所述下清洗液供给工序结束后，除去附着在所述外壳的外表面上的清洗液。

5.根据权利要求4所述的加热器清洗方法，其特征在于，

所述干燥工序还包含加热干燥工序，

在所述加热干燥工序中，从所述红外线灯对所述外壳照射红外线，对所述外壳的外表面进行加热而使其干燥。

6.根据权利要求4或5所述的加热器清洗方法，其特征在于，

所述下喷嘴还具有用于向上方喷出气体的第二喷出口，

所述干燥工序包含下干燥用气体喷出工序，

在所述下干燥用气体喷出工序中，通过对所述下喷嘴供给干燥用气体，从所述第二喷出口向上方喷出干燥用气体，来对配置在所述加热器清洗位置的所述加热器的所述外壳的外表面供给干燥用气体。

7.一种基板处理装置，其特征在于，包含：

加热器，具有红外线灯和收纳所述红外线灯的外壳，在与基板的主面相对置的处理位置对该基板的主面加热；以及

清洗液供给单元，在所述加热器位于与所述处理位置不同的清洗位置的状态下，对所述外壳的外表面供给清洗液。

8.根据权利要求7所述的基板处理装置，其特征在于，

所述清洗位置，是所述加热器从所述处理位置退出而等待时的等待位置。

9.根据权利要求7或8所述的基板处理装置，其特征在于，还包含：

收纳部件，收纳所述加热器，挡住从该加热器飞散出的清洗液。

10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其特征在于，

所述收纳部件包含有底容器状的储存容器，所述储存容器在底部具有排出口并能够储存液体，

所述清洗液供给单元包含对所述储存容器内供给清洗液的清洗液喷嘴。

11.根据权利要求10所述的基板处理装置，其特征在于，还包含：

排液配管，与所述储存容器的所述排出口连接，用于排出储存在所述储存容器中的液体；

排液阀，安装在所述排液配管上，用于开闭所述排液配管。

12.根据权利要求7～9中任一项所述的基板处理装置，其特征在于，

所述清洗液供给单元具备清洗液喷嘴，所述清洗液喷嘴具有向所述外壳的外表面喷出清洗液的清洗液喷出口。

13.根据权利要求7～12中任一项所述的基板处理装置，其特征在于，还包含：

干燥用气体喷出单元，为了从所述外壳的外表面除去清洗液，向所述外壳的外表面喷出干燥用气体。