[发明专利]液态组合物、金属铜膜和导体配线以及金属铜膜的制造方法

权利要求书

1.一种液态组合物，其含有(a)选自由甲酸和甲酸铜组成的组中的至少一种、(b)氧化铜颗粒和(c)溶剂，其中，所述氧化铜颗粒的含量相对于液态组合物总量为5质量％以上且60质量％以下，所述溶剂为选自由水、一元～三元的具有羟基的脂肪族醇、来源于所述醇的烷基醚和来源于所述醇的烷基酯组成的组中的至少一种。

2.如权利要求1所述的液态组合物，其中，所述氧化铜颗粒的平均粒径为1nm以上且小于1μm。

3.如权利要求1所述的液态组合物，其中，所述氧化铜颗粒的平均粒径为1nm以上且小于200nm。

4.如权利要求1～3的任一项所述的液态组合物，其中，该液态组合物含有甲酸作为所述(a)，该甲酸的含量相对于所述氧化铜颗粒为0.5质量％以上且20质量％以下。

5.如权利要求1～3的任一项所述的液态组合物，该液态组合物含有甲酸作为所述(a)，该甲酸的含量相对于所述氧化铜颗粒为5质量％以上且15质量％以下。

6.如权利要求1～3的任一项所述的液态组合物，其中，该液态组合物含有甲酸铜作为所述(a)，该甲酸铜的含量相对于所述氧化铜颗粒为1质量％以上且30质量％以下。

7.一种金属铜膜，其通过对权利要求1～3的任一项所述的液态组合物进行光烧结而得到，空隙率为25％以下。

8.一种导体配线，其利用权利要求1～3的任一项所述的液态组合物或权利要求7所述的金属铜膜得到。

9.一种金属铜膜的制造方法，其中，在基材上赋予含有(a)选自由甲酸和甲酸铜组成的组中的至少一种、(b)氧化铜颗粒和(c)溶剂的液态组合物，并对该赋予的液态组合物的至少一部分进行光照射，所述溶剂为选自由水、一元～三元的具有羟基的脂肪族醇、来源于所述醇的烷基醚和来源于所述醇的烷基酯组成的组中的至少一种。

10.一种金属铜膜的制造方法，其中，在基材上赋予含有(b)氧化铜颗粒和(c)溶剂的液态组合物，对该赋予的液态组合物赋予含有(a)选自由甲酸和甲酸铜组成的组中的至少一种的溶液，在干燥后进行光照射，所述溶剂为选自由水、一元～三元的具有羟基的脂肪族醇、来源于所述醇的烷基醚和来源于所述醇的烷基酯组成的组中的至少一种。

11.一种金属铜膜的制造方法，其中，在基材上赋予含有(b)氧化铜颗粒和(c)溶剂的液态组合物，对该赋予的液态组合物的至少一部分进行光照射，在该光照射后的部分涂布含有(a)选自由甲酸和甲酸铜组成的组中的至少一种的溶液，在干燥后进行光照射或加热，所述溶剂为选自由水、一元～三元的具有羟基的脂肪族醇、来源于所述醇的烷基醚和来源于所述醇的烷基酯组成的组中的至少一种。

12.如权利要求9～11的任一项所述的金属铜膜的制造方法，其中，所述氧化铜颗粒的平均粒径为1nm以上且小于1μm。

13.如权利要求9～11的任一项所述的金属铜膜的制造方法，其中，所述氧化铜颗粒的平均粒径为1nm以上且小于200nm。

14.如权利要求9～11的任一项所述的金属铜膜的制造方法，其中，所述光照射为利用闪光灯的光照射。

15.一种导体配线，其使用了通过权利要求9～11的任一项所述的制造方法得到的金属铜膜。