[发明专利]掩模调整单元、掩模装置以及掩模的制造装置和制造方法

权利要求书

1.一种掩模调整单元，包括：

基体；

可动部件，所述可动部件支撑具有外缘部的掩模主体的外缘部侧并可移动地设置在所述基体上；和

调整机构，所述调整机构将从所述掩模主体的外缘部拉向所述掩模主体的外侧的张力和从所述外缘部压向所述掩模主体的内侧的压力经由所述可动部件施加到所述掩模主体上，所述掩模主体由所述可动部件支撑。

2.根据权利要求1所述的掩模调整单元，其中

所述调整机构包括作用在所述可动部件上的至少一个螺栓。

3.根据权利要求2所述的掩模调整单元，其中

所述调整机构包括

向所述掩模主体施加所述张力的第一螺栓，和

向所述掩模主体施加所述压力的第二螺栓。

4.根据权利要求3所述的掩模调整单元，其中

所述调整机构具有支撑第一螺栓和第二螺栓的支撑部，所述支撑部设置在所述基体上，以及

所述可动部件具有将第一螺栓插入其中的螺丝孔和与第二螺栓的端部接触的接触区域。

5.根据权利要求3所述的掩模调整单元，其中

所述调整机构还包括与第一螺栓和第二螺栓中的至少一个连接、将所述至少一个螺栓在第一移动方向上的动力转换成在第二移动方向上的动力并将所转换的动力传递到所述可动部件的转换部件，第二移动方向不同于第一移动方向。

6.根据权利要求3所述的掩模调整单元，其中

所述调整机构还包括

设置在所述基体上的固定体，和

通过所述固定体和所述可动部件之间的第一螺栓和第二螺栓中的任一个与所述基体连接、将第一螺栓和第二螺栓中的任一个在第一移动方向上的动力转换成在第二移动方向上的动力并将所转换的动力传递到所述可动部件的传递部件，第二移动方向不同于第一移动方向。

7.根据权利要求6所述的掩模调整单元，其中

所述传递部件是通过弹性变形作用在所述可动部件上的弹性体。

8.根据权利要求6所述的掩模调整单元，其中

所述可动部件具有锥形面，

所述固定体具有面向所述可动部件的锥形面的锥形面并设置在所述基体上，使得所述可动部件的锥形面和所述固定体的锥形面之间的间隔朝着其上形成有掩模图案的图案面的垂直方向改变，所述掩模主体具有所述图案面，以及

所述传递部件是在所述可动部件的锥形面和所述固定体的锥形面之间配置的阻挡部件，使得所述阻挡部件与所述锥形面接触。

9.根据权利要求2所述的掩模调整单元，其中

所述调整机构还具有

设置在所述基体上并支撑所述螺栓的支撑部，和

调节所述螺栓沿着所述螺栓的插入和取出方向相对于所述支撑部的移动的调节部。

10.根据权利要求1所述的掩模调整单元，其中

所述调整机构包括

向所述掩模主体施加所述张力的第一凸轮部件，和

向所述掩模主体施加所述压力的第二凸轮部件。

11.根据权利要求1所述的掩模调整单元，其中

所述调整机构包括能够向所述掩模主体施加所述张力和所述压力的压电元件。

12.根据权利要求1所述的掩模调整单元，还包括：

调整框架，所述调整框架与所述基体连接，使得所述调整框架在与其上形成有掩模图案的图案面垂直的方向上面向所述基体并且在所述调整框架和所述基体之间形成间隙，所述掩模主体具有所述图案面；和

在所述垂直方向上调整所述间隙的距离的调整部件。

13.一种掩模装置，包括：

具有外缘部的掩模主体；

基体；

可动部件，所述可动部件支撑所述掩模主体的外缘部侧并可移动地设置在所述基体上；和

调整机构，所述调整机构将从所述掩模主体的外缘部拉向所述掩模主体的外侧的张力和从所述外缘部压向所述掩模主体的内侧的压力经由所述可动部件施加到所述掩模主体上，所述掩模主体由所述可动部件支撑。