[发明专利]用于辐照衬底的设备

权利要求书

1.一种用于辐照衬底的设备，具有：带有圆形辐照面的用于待辐照的衬底的容纳部；第一光辐射器，具有至少一个布置在平行于所述辐照面走向的照明平面中的辐射器管，所述辐射器管具有带有一个中部区段和两个端部区段的照明长度，其中所述中部区段的长度总计为所述照明长度的至少50%，并且其中所述容纳部和所述光辐射器能够相对于彼此移动，其特征在于，所述辐射器管的照明长度在小于2π弧度的弧角之上延伸，以及所述辐射器管在所述中部区段中具有从一个端部区域到另一个端部区域连续减小的弯曲。

2.根据权利要求1所述的设备，

其特征在于，

所述辐射器管在所述中部区段中具有算术螺旋的弯曲。

3.根据权利要求1所述的设备，

其特征在于，

所述圆形辐照面具有中心，该中心确定平面极坐标系的极点，该极坐标系包括同心圆形式的用于描述角度的坐标线和用于描述所述极坐标系中的坐标的半径r的射线轴，并且所述辐射器管在所述中部区段中的弯曲通过坐标来描述，所述坐标满足如下数学函数：

r=k*并且<2π弧度，

其中k是恒定因子。

4.根据权利要求1所述的设备，

其特征在于，

所述圆形辐照面具有中心，该中心确定平面极坐标系的极点，该极坐标系包括同心圆形式的用于描述角度的坐标线和用于描述所述极坐标系中的坐标的半径r的射线轴，并且所述辐射器管在所述中部区段中具有第一部分长度，在所述第一部分长度中所述辐射器管的弯曲通过坐标来描述，所述坐标满足如下数学函数:

r=k₁*并且<2π弧度，

并且包括第二部分长度，在所述第二部分长度中所述辐射器管的弯曲通过坐标来描述，所述坐标满足如下数学函数：

r=k₂*并且<2π弧度，

其中k₁≠k₂，以及k₁和k₂是恒定因子。

5.根据权利要求3或4所述的设备，

其特征在于，

所述辐射器管的弯曲通过穿过所述辐射器管的横截面的中心走向的曲线来描述，其中该曲线在任何位置处与通过数学函数所描述的弯曲的偏差都不大于1mm。

6.根据权利要求5所述的设备，

其特征在于，所述曲线在任何位置处与通过数学函数所描述的弯曲的偏差都不大于0.3mm。

7.根据权利要求1至2之一所述的设备，

其特征在于，

所述辐射器管的照明长度在小于π弧度的弧角之上延伸。

8.根据权利要求1至2之一所述的设备，

其特征在于，

该设备仅仅包含唯一的弯曲的光辐射器。

9.根据权利要求1所述的设备，

其特征在于，

该设备具有至少一个另外的光辐射器，所述至少一个另外的光辐射器具有在平行于辐照面走向的照明平面中弯曲的辐射器管，所述辐射器管包括照明长度，所述照明长度具有一个中部区段和两个端部区段，其中所述中部区段的长度总计为所述照明长度的至少50%。

10.根据权利要求9所述的设备，

其特征在于，

所述中部区段的长度总计为所述照明长度的至少90%。

11.根据权利要求9所述的设备，

其特征在于，

所述第一光辐射器辐照在径向方向上来看内部的辐照面并且所述至少一个另外的光辐射器辐照在径向方向上来看外部的辐照面，其中内部的和外部的辐照面至少部分地重叠。

12.根据权利要求9至11之一所述的设备，

其特征在于，

所述辐照面具有中心并且径向上向外走向的射线轴从中心出发，所述射线轴与第一辐射器和至少一个另外的辐射器相交。

13.根据权利要求9至11之一所述的设备，

其特征在于，

所述光辐射器总体上以螺旋的形式来布置。

14.根据权利要求1至2之一所述的设备，

其特征在于，

所述端部区段也具有算术螺旋的弯曲。