[发明专利]激光光源装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种激光光源装置及激光光源装置的制造方法，尤其涉及一种将光学元件和合波器搭载于基板上的激光光源装置及激光光源装置的制造方法。

背景技术

以往，已知有通过空间光调制装置对从光源装置出射的光进行调制，将调制后的图像光通过投射透镜等投射光学系统放大投射于屏幕上的投影仪。以往利用金属卤化物灯或卤素灯等作为投影仪的光源装置。然而，近年来，为了谋求光源装置及投影仪的小型化、长寿命、高图像质量等，提出将三原色(RGB)的LD(Laser Diode：激光二极管)作为光源的显示装置(例如，参照专利文献1)。

专利文献1中所记载的投影型显示装置的激光光源具有CAN类型的结构管座。具体来说，在贯通并被垂直连接的共用端子上固定LD芯片，将通过电线与LD芯片的另一电极连接的端子以及共用端子从管座的背面引出，将具有透明的窗户的筒状的金属制盖安装于管座上，对LD芯片进行密封。在专利文献1中，提出一种将下述激光单元作为显示装置的光源的方案，所述激光单元配置3个CAN类型的激光光源作为RGB，通过多个分色镜对来自各激光光源的激光进行合波，利用透镜将合波后的激光聚光并出射。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-175268号公报

发明内容

然而，近年来，对被称为微型投影仪的、以向便携设备的搭载为目标的非常小的投影仪的要求较高。然而，专利文献1中所记载的纳入显示装置中的激光单元的结构为，将CAN类型的激光光源嵌入配线基板的孔中并用焊料进行安装。因此，难以小型化，且不可能实现比激光光源的直径薄的激光单元。因此，采用专利文献1中所记载的CAN类型的激光光源的话，小型化薄型化具有限制。

又，专利文献1中所记载的激光单元中，为了调整出射的激光的光路，需要进行附有焊料的各激光光源的位置对齐、多个分色镜的位置对齐、及透镜的位置对齐。因此，存在作为激光单元的调整工序复杂且难以调整光路的问题。又，考虑到由于调整部位较多导致激光的各自光路分散，其结果，也存在光损失变大、耦合效率降低这样的问题。

本发明的目的在于，提供一种能够解决上述课题的激光光源装置及激光光源装置的制造方法。

本发明的另一目的在于，通过使光学元件等在基板上集成化，提供一种小型薄型且容易进行光路调整的激光光源装置及激光光源装置的制造方法。

一种激光光源装置，其特征在于，具有：硅基板，所述硅基板通过厚度方向的台阶，具有第一平面和形成于比所述第一平面低的位置上的第二平面；第一接合部，所述第一接合部形成于第一平面上，具有由Au构成的微凸块结构；第二接合部，所述第二接合部形成于第二平面上，具有由Au构成的微凸块结构；第一光学元件及第二光学元件，所述第一光学元件及第二光学元件通过表面活性化接合技术被接合于第一接合部，出射激光；反射构件，所述反射构件通过表面活性化接合技术被接合于第二接合部，且将来自第一光学元件的激光向合波器反射；以及合波器，所述合波器通过表面活性化接合技术被接合于第二接合部，直接接收来自第二光学元件的激光后，对来自第一光学元件的激光及来自第二光学元件的激光进行合波，通过使第一光学元件及反射构件之间的距离和第二光学元件及合波器之间的距离不同，来将从第一光学元件至合波器的光路长度和从第二光学元件至合波器的光路长度设定为相等。

激光光源装置优选为，硅基板的所述厚度方向的台阶在第一平面的水平方向上形成为阶梯状，第一光学元件及第二光学元件被配置于厚度方向的台阶的形成为阶梯状的端面上。

激光光源装置优选为，第一光学元件及第二光学元件为激光元件，合波器为分色镜棱镜。

激光光源装置优选为，进一步具有驱动IC，所述驱动IC被搭载于硅基板上，驱动第一光学元件及第二光学元件。

激光光源装置优选为，进一步具有出射激光的第三光学元件及第二合波器，第二合波器直接接收来自第三光学元件的激光，对来自第三光学元件的激光和已通过合波器合波了的来自第一光学元件的激光及来自第二光学元件的激光进行合波。