[发明专利]MEMS扫描镜视场提供方法和装置

权利要求书

1.一种用于提供微机电系统（MEMS）扫描镜无阻碍视场的装置，包括：

与激光设备相关联的光电子组件，其中，所述组件包括具有视场的MEMS扫描镜，并且其中所述MEMS扫描镜包括：

基板，其至少具有顶层；以及

具有大体上椭圆形或圆形形状的微尺度扫描镜，其嵌入在基板的顶层中，其中，所述微尺度扫描镜绕所述微尺度扫描镜的弦轴可旋转以使来自激光设备的光束偏转，并且其中，所述顶层包括在一侧的切口，其被定尺寸以减少所述微尺度扫描镜的阻碍以扩大视场，其中所述切口延伸到所述顶层的边缘。

2.如权利要求1所述的装置，其中，所述切口选自类梯形形状或类矩形形状的中的一个。

3.如权利要求1所述的装置，其中，所述微尺度扫描镜被布置为与多层基板的顶层大体上齐平。

4.如权利要求1所述的装置，其中，所述基板包括被配置成为MEMS扫描镜提供支撑的底层，并且其中，限定基板的框架包括与布置在顶层一侧的切口对应的开口。

5.如权利要求1所述的装置，其中，所述微尺度扫描镜的旋转的弦轴从所述基板的中心轴偏移。

6.如权利要求1所述的装置，其中，所述弦轴是所述微尺度扫描镜的中心轴。

7.如权利要求1所述的装置，其中，所述光电子组件被嵌入在激光设备中，并且被配置成在视场内使由激光设备所产生的入射激光束偏转。

8.如权利要求7所述的装置，其中，所述微尺度扫描镜被配置成在所述微尺度扫描镜被旋转到与静止位置呈约45度角度的位置的情况下接收入射激光束。

9.如权利要求1至8中任一项所述的装置，其中，所述微尺度扫描镜包括硅（Si）。

10.一种用于提供微机电系统MEMS扫描镜无阻碍视场的装置，其包括：

光电子组件，包括：

具有视场的MEMS扫描镜；

偏振分束器，其被配置成使入射光束分裂并使入射光束的至少一部分偏振成反射光束；

相位延迟板，其被设置在所述MEMS扫描镜与所述偏振分束器之间，并且被配置成在反射光束进入所述MEMS扫描镜之前旋转反射光束的偏振；以及

其中，所述MEMS扫描镜被配置成接收具有以大体上直角的旋转的偏振的反射光束，以及在视场内使接收光束偏转，其中所述MEMS扫描镜包括至少具有顶层的基板和嵌入在所述基板的顶层中的微尺度扫描镜，其中，所述顶层包括在一侧的切口，所述切口被定尺寸以减少所述微尺度扫描镜的阻碍以扩大视场，其中所述切口延伸到所述顶层的边缘；

其中，所述相位延迟板被配置成进一步旋转由MEMS扫描镜偏转的光束的偏振，以使得所述偏振分束器能够在光束穿过延迟板之后进一步发射由MEMS扫描镜偏转的光束。

11.如权利要求10所述的装置，其中，所述装置还包括激光设备，其中，所述光电子组件被嵌入在激光设备中，并且被配置成将由激光设备产生的入射激光束转换成视场内的出射光束。

12.如权利要求11所述的装置，其中，所述偏振分束器被配置成将反射光束以相对于所述MEMS扫描镜的平面大体上呈直角对准所述MEMS扫描镜。

13.如权利要求12所述的装置，其中，所述MEMS扫描镜被配置成至少部分地相对于MEMS扫描镜的静止平面可旋转。

14.如权利要求10至13中任一项所述的装置，其中，所述相位延迟板被配置成使被偏振分束器反射的光束的偏振旋转达大约45度，以及进一步使由所述MEMS扫描镜偏转的光束的偏振旋转达大约45度。