[发明专利]静压气体轴承及使用该静压气体轴承的直动引导装置

权利要求书

1.一种静压气体轴承，包括：合成树脂制的轴承体，该轴承体具有圆环状凹部、环状凹槽及作为自成节流孔的多个空气吹出孔，其中，上述圆环状凹部在上述轴承体的一个面上开口且形成于该一个面，上述环状凹槽在上述轴承体的另一个面上开口且形成于该另一个面，上述多个空气吹出孔的一端开口于环状凹槽，另一端在圆环状凹部中开口；轴承基体，该轴承基体包括供气通路，该供气通路的一端在上述轴承基体的与上述轴承体的一个面相对的一个面上开口，且在该一端处与圆环状凹部连通，朝上述供气通路的另一端供给气体，并且，上述轴承基体与上述轴承体一体地结合；以及自激振动衰减机构，该自激振动衰减机构具有空洞，该空洞的一端在轴承体的另一个面的中央部处开口且该空洞延伸到轴承体的一个面。

2.如权利要求1所述的静压气体轴承，其特征在于，圆环状凹部由圆环状的内侧小径外周面、圆环状的内侧大径外周面及圆环状台阶部面限定，其中，所述内侧大径外周面相对于所述内侧小径外周面扩径，所述圆环状台阶部面的内周缘与内侧小径外周面的下缘连接，且所述圆环状台阶部面的外周缘与内侧大径外周面的上缘连接，静压气体轴承还包括环状密封构件，该环状密封构件与内侧大径外周面及圆环状台阶部面接触而配置于圆环状凹部，并且所述环状密封构件与轴承基体的一个面弹性接触。

3.如权利要求1或2所述的静压气体轴承，其特征在于，

圆环状凹部由截头圆锥面限定，该截头圆锥面从轴承体的一个面朝向另一个面连续地形成为尾端宽。

4.如权利要求1至3中任一项所述的静压气体轴承，其特征在于，

环状凹槽具有至少0.3mm的宽度和至少0.01mm的深度，空气吹出孔在其一端具有至少30μm的直径，并且在圆环状凹部与环状凹槽之间形成自成节流孔。

5.如权利要求1至4中任一项所述的静压气体轴承，其特征在于，

环状凹槽具有0.3～1.0mm的宽度和0.01～0.05mm的深度，空气吹出孔在其一端具有至少30～120μm的直径。

6.如权利要求1至5中任一项所述的静压气体轴承，其特征在于，

空洞具有在轴承体的一个面上开口的开口端，该开口端被轴承基体的一个面封闭。

7.如权利要求1至6中任一项所述的静压气体轴承，其特征在于，

空洞包括圆柱状的通孔，该通孔从轴承体的另一个面到轴承体的一个面以相同的直径延伸。

8.如权利要求1至7中任一项所述的静压气体轴承，其特征在于，

环状凹槽及空气吹出孔分别通过激光加工形成。

9.如权利要求1至8中任一项所述的静压气体轴承，其特征在于，

轴承体还包括：大径环状凹槽，该大径环状凹槽形成在轴承体的另一个面上，并且在所述环状凹槽的外侧包围该环状凹槽；多个第一放射状凹槽，这些第一放射状凹槽的一个端部朝所述环状凹槽开口，另一个端部朝大径环状凹槽开口；小径环状凹槽，该小径环状凹槽形成在轴承体的另一个面上，并且在所述环状凹槽的内侧被该环状凹槽包围；以及多个第二放射状凹槽，这些第二放射状凹槽的一个端部朝环状凹槽开口，另一个端部朝小径环状凹槽开口。

10.如权利要求9所述的静压气体轴承，其特征在于，

第一放射状凹槽及第二放射状凹槽分别通过激光加工形成。

11.如权利要求1至10中任一项所述的静压气体轴承，其特征在于，

所述静压气体轴承还包括球体收容元件，该球体收容元件设置于轴承基体且具有球体收容凹部。

12.如权利要求11所述的静压气体轴承，其特征在于，

球体收容元件具有在轴承基体的另一个面上开口并形成于所述轴承基体的截头圆锥凹部作为球体收容凹部。

13.如权利要求11所述的静压气体轴承，其特征在于，

球体收容元件具有在轴承基体的另一个面上开口并形成于所述轴承基体的半球凹部作为球体收容凹部。

14.如权利要求11所述的静压气体轴承，其特征在于，

球体收容元件包括：圆柱状凹部，该圆柱状凹部在轴承基体的另一个面上开口并形成于该轴承基体；以及块体，该块体具有在一个面上开口的截头圆锥凹部作为球体收容凹部，并且嵌合固定于所述圆柱状凹部。