[发明专利]带电粒子线装置

说明书

技术领域

本发明涉及使用带电粒子线来进行样品的观察的带电粒子线装置。

背景技术

近年来，扫描型带电粒子线装置由于其空间分辨率的高度而广泛应用在半导体领域或材料领域、医用领域这样各种产业领域中。在使用扫描型带电粒子线装置的观察中，一般将带电粒子线对样品照射，检测从照射位置放出的二次电子和反射电子等。

如专利文献1记载的那样，二次电子像主要表示反映了样品的表面形状的对比度。另外，反射电子像除了样品的表面形状以外，还表示反映组成的对比度。因此，通过辨别并检测二次电子和反射电子，能取得样品的各种信息。到目前为止，作为辨别二次电子和反射电子的方法，开发了使用配置在带电粒子线柱的内外的多个检测器的方法、和使用多孔电极来进行能量过滤的方法(专利文献2)等。另外，在专利文献1中，示出了使用位置敏感型检测器的二次电子和反射电子的辨别方法。作为该方法的优点，能举出仅用单一的检测器来进行能量过滤这一点。

先行技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2010-135072号公报

专利文献2：JP特许第4069624号公报

发明内容

发明的概要

发明要解决的课题

本申请的发明者对二次电子和反射电子的辨别方法进行专门研讨，结果得到以下的见解。

在专利文献1提出了使用位置敏感型检测器(例如CCD检测器)的方法。但是，放出的电子的到达位置不仅因电子的能量不同而不同，还因会聚透镜的条件或从样品放出时的角度不同而不同。为此，为了准确地辨别具有所期望的能量的电子或以所期望的角度放出的电子，每次都需要细致地设定位置敏感型检测器的检测条件。为此，将位置敏感型检测器的设定设定为适于观察的条件成为非常烦杂的作业。

另外，在专利文献2中提出使用电极来进行能量过滤的方法。但是，适于观察的能量区域或角度区域很大地依赖于样品。为此，对于对观察生疏的操作人员而言，很难准确地设定观察条件。另外，因照射电子线的能量不同而观察结果较大地改变。因此，照射电子线的能量的设定对于对观察生疏的操作人员而言，也是烦杂的作业之一。

本发明提供解决这些课题的装置。

用于解决课题的手段

本发明中的第一带电粒子线装置具备：计算从样品放出的二次粒子到达的位置的轨迹计算模拟器；或记录从样品放出的二次粒子到达的位置的数据库；或记录检测器所检测的二次粒子的条件的数据库。

本发明中的第二带电粒子线装置具备：将带电粒子线会聚在样品的2个以上的透镜；独立控制所述透镜的控制器；检测从所述样品放出的二次粒子的检测器；和按每个所述透镜条件来比较由所述检测器得到的信号的运算器。

发明的效果

根据本发明，能容易地进行从样品放出的二次粒子的能量辨别或角度辨别。或者，能容易地设定最佳的观察条件。

附图说明

图1是本发明的实施方式中的带电粒子线的概略图。

图2是表示检测器的控制流程的一例的流程图1。

图3是表示检测器的控制流程的一例的流程图2。

图4是对所检测的二次电子的能量范围或角度范围进行设定的GUI画面的一例。

图5是对检测效率的阈值进行设定的GUI画面的一例。

图6是获知运行的检测元件以及所检测的二次粒子的条件的GUI画面的一例。

图7是表示会聚透镜的控制流程的一例的流程图。

具体实施方式

参考附图来说明本发明。

实施例1

(带电粒子线装置的装置构成)

图1是本发明的一个实施例中的带电粒子线装置的概略图。

在图1中，带电粒子线装置具备产生带电粒子线101的带电粒子线源102，从带电粒子线源102放出的带电粒子线101通过加速电极103而被加速。用于加速带电粒子线101的加速电压被控制加速电极103的加速电极控制器153所控制。

由第一聚光器透镜104、第二聚光器透镜105使带电粒子线101偏向，对通过未图示的光阑的带电粒子线101的通过量进行调整，对照射到样品110的带电粒子线101的量进行控制。第一聚光器透镜104、第二聚光器透镜105分别被第一聚光器透镜控制器154、第二聚光器透镜控制器155所控制。