[发明专利]用于微机电的测量变换器的膜片装置和用于制造膜片装置的方法

权利要求书

1.微机电的膜片装置（100、200、300），其具有：

- 基片（4），所述基片在表面上具有多个空隙（4a）；

- 能够导电的第一电极层（1），所述第一电极层布置在所述基片（4）的表面上并且所述第一电极层具有多个与所述基片（4）的空隙（4a）相一致的第一凹部（1a）；以及

- 能够沿着与所述基片（4）的表面垂直的方向偏移的并且能够导电的膜片层（2、7），所述膜片层布置在所述第一电极层（1）的上方并且以第一间距值（x_G）与所述第一电极层（1）隔开；

其特征在于，

能够导电的第二电极层（3），所述第二电极层布置在所述膜片层（2、7）的上方，并且所述第二电极层具有多个构造在所述第一凹部（1a）上方的第三凹部（3a），其中所述膜片层（2）具有多个构造在所述第一凹部（1a）上方的第二凹部（2a），并且其中所述第二凹部（2a）的外壁（2b）相对于所述第三凹部（3a）的外壁在平行于所述基片（4）的表面的情况下具有第二间距值（y_G），其中所述第一凹部（1a）、第二凹部（2a）和第三凹部（3a）彼此构造成，在所述膜片层（2）垂直于所述基片（4）的表面偏移时，使所述第二凹部（2a）无接触地嵌入到所述第一凹部（1a）和第三凹部（3a）中。

2.按权利要求1所述的膜片装置（100、200），其中所述第二凹部（2a）被设计用于：在所述膜片层（2）垂直于所述基片（4）的表面偏移时无接触地嵌入到所述第一凹部（1a）中。

3.按权利要求1或2所述的膜片装置（100），其中所述第二凹部（2a）具有外壁（2b），所述外壁具有比所述第一间距值（x_G）大的、垂直的延伸度。

4.按权利要求1或2所述的膜片装置（200），其中所述第二凹部（2a）具有外壁（2b），所述外壁具有刚好与所述第一间距值（x_G）一样大的、垂直的延伸度。

5.按权利要求1或2所述的膜片装置（200），其中，所述第一凹部（1a）的外壁相对于所述第二凹部（2a）的外壁（2b）在平行于所述基片（4）的表面的情况下具有第二间距值（y_G）。

6.按权利要求1或2所述的膜片装置（100、200、300），其中所述第一电极层（1）和所述基片（4）具有多个构造在所述第一凹部（1a）中的第一压力补偿孔（5a）。

7.按权利要求1或2所述的膜片装置（100、200、300），其中所述第一电极层（1）由所述基片（4）构造。

8.按权利要求1所述的膜片装置（100、200、300），其中所述第二电极层（3）具有多个构造在所述第三凹部（3a）中和/或构造在所述第三凹部（3a）之间的第三压力补偿孔（5b、5c）。

9.微机电的结构元件，其具有按权利要求1到8中任一项所述的微机电的膜片装置（100、200、300）。

10.按权利要求9所述的微机电的结构元件，其中所述微机电的结构元件是压力传感器、麦克风或者扬声器。