[发明专利]用于分离多层结构的装置和方法

权利要求书

1.一种用于分离圆柱形多层结构的装置，所述圆柱形多层结构包括第一层、第二层和在所述第一层和所述第二层之间的脱模层，所述装置包括：

附接表面，被构造为通过附接到所述第一层来悬挂所述圆柱形多层结构，其中所述附接表面包括柔性盘形板；

致动机构，被构造为通过向所述附接表面的中心部分提供力以弯曲所述附接表面而形成所述第一层的曲度；和

容器，被构造为容纳用于蚀刻所述脱模层以便将所述第一层与所述第二层分离的蚀刻剂。

2.根据权利要求1所述的装置，

其中通过连续的蚀刻前端沿所述圆柱形多层结构的周界朝向所述圆柱形多层结构的中间的轴线的移动，所述脱模层被蚀刻。

3.根据权利要求2所述的装置，

其中所述连续的蚀刻前端由于所述第二层的重力而被加宽。

4.根据权利要求2或3所述的装置，

其中所述致动机构被构造为当所述连续的蚀刻前端从所述圆柱形多层结构的所述周界向所述圆柱形多层结构的中间的所述轴线移动时增加所述第一层的曲度。

5.根据权利要求1所述的装置，

其中所述致动机构包括致动器。

6.根据权利要求5所述的装置，

其中所述致动器包括千分尺。

7.根据权利要求5所述的装置，

其中所述致动器在所述附接表面的第一部分上施加偏压力，其中所述第一部分是所述附接表面的所述中心部分；并且

其中所述致动机构进一步包括固定机构，以便在所述附接表面的第二部分上施加与所述偏压力相反的反力，从而弯曲所述附接表面，其中所述第二部分是所述附接表面的周界。

8.根据权利要求7所述的装置，进一步包括：

在所述致动器和所述附接表面之间的传递部分；以及

在所述附接表面和所述传递部分之间的聚四氟乙烯吸盘，

其中所述偏压力经由所述传递部分从所述致动器被传递到所述附接表面的第一部分。

9.根据权利要求7或8所述的装置，进一步包括：

台；

其中所述固定机构被附接到所述台。

10.根据权利要求9所述的装置，

其中所述附接表面通过所述固定机构从所述台悬挂下来。

11.根据权利要求1所述的装置，

其中所述附接表面被构造为使用粘合剂附接到所述第一层。

12.一种用于分离圆柱形多层结构的方法，所述圆柱形多层结构包括第一层、第二层和在所述第一层和所述第二层之间的脱模层，所述方法包括：

通过将所述第一层附接到附接表面来悬挂所述圆柱形多层结构，其中所述附接表面包括柔性盘形板；

通过使用致动机构向所述附接表面的中心部分提供力以弯曲所述附接表面而形成所述圆柱形多层结构的第一层的曲度；以及

蚀刻所述脱模层以便将所述第一层与所述第二层分离。

13.根据权利要求12所述的方法，

其中蚀刻所述脱模层包括将连续的蚀刻前端沿所述圆柱形多层结构的周界朝向所述圆柱形多层结构的中间的轴线移动。

14.根据权利要求13所述的方法，

其中所述连续的蚀刻前端由于所述第二层的重力而被加宽。

15.根据权利要求13或14所述的方法，所述方法进一步包括：

当所述连续的蚀刻前端从所述圆柱形多层结构的所述周界向所述圆柱形多层结构的中间的所述轴线移动时，通过使用所述致动机构增加所述附接表面的弯曲而增加所述第一层的曲度。

16.根据权利要求12所述的方法，

其中所述致动机构包括致动器。

17.根据权利要求16所述的方法，

其中所述致动器包括千分尺。

18.根据权利要求16所述的方法，

其中弯曲所述附接表面包括使用所述致动器在所述附接表面的第一部分上施加偏压力以及使用固定机构在所述附接表面的第二部分上施加与所述偏压力相反的另外的力，

其中所述第一部分是所述附接表面的所述中心部分，并且

其中所述第二部分是所述附接表面的周界。