[发明专利]药液处理装置

权利要求书

1.一种药液处理装置，对被处理基板的被处理面实施药液处理，其特征在于，

具备：

药液处理槽，上述被处理基板被搬入到上述药液处理槽；

搬运单元，其以使搬入到上述药液处理槽的被处理基板的被处理面朝向上述药液处理槽的顶壁侧的方式搬运上述被处理基板；以及

药液喷射单元，其对由上述搬运单元搬运的被处理基板的被处理面喷射药液，

上述药液喷射单元还对上述药液处理槽的顶壁喷射上述药液。

2.根据权利要求1所述的药液处理装置，其特征在于，

上述药液处理槽的顶壁面水平地形成。

3.根据权利要求1或2所述的药液处理装置，其特征在于，

在上述药液处理槽的顶壁以突出的方式设有原有结构物，

上述药液喷射单元对上述原有结构物喷射药液。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的药液处理装置，其特征在于，

上述药液喷射单元具备：供液配管，其用于供应药液；多个第1喷淋嘴，其设于该供液配管，具有朝向下方的喷出口，从该喷出口对上述被处理基板的被处理面喷射药液；以及多个第2喷淋嘴，其设于上述供液配管，具有朝向上方的喷出口，从该喷出口对上述药液处理槽的顶壁喷射药液。

5.根据权利要求1～3中的任一项所述的药液处理装置，其特征在于，

上述药液喷射单元具备：第1供液配管和第2供液配管，其用于供应药液；多个第1喷淋嘴，其设于上述第1供液配管，具有朝向下方的喷出口，从该喷出口对上述被处理基板的被处理面喷射药液；以及多个第2喷淋嘴，其设于上述第2供液配管，具有朝向下方的喷出口，从该喷出口对上述药液处理槽的顶壁喷射药液。

6.根据权利要求4或5所述的药液处理装置，其特征在于，

上述供液配管具备：主管，其沿着上述被处理基板的搬运方向延伸；以及多个分支管，其分别在上述被处理基板的搬运方向相互隔开规定间隔地连结到上述主管，从上述主管向与上述被处理基板的搬运方向交叉的方向突出，

上述第1喷淋嘴和第2喷淋嘴在各上述分支管中沿着各上述分支管的突出方向隔开规定间隔地设有多个。

7.根据权利要求6所述的药液处理装置，其特征在于，

各上述第2喷淋嘴在喷射药液时在上述被处理基板的搬运方向摆动。

8.根据权利要求6或7所述的药液处理装置，其特征在于，

各上述第1喷淋嘴在喷射药液时在上述被处理基板的搬运方向摆动。