[发明专利]排气泵的堆积物感测装置以及排气泵

权利要求书

1.一种排气泵的堆积物感测装置，所述排气泵通过旋转体的旋转动作来对气体进行排气，所述堆积物感测装置的特征在于，具有：

单元，检测对所述旋转体进行旋转驱动的电动机的电动机电流值；

电流值存储部，在稳态旋转模式时，仅存储所述电动机电流值中的设定值以上的所述电动机电流值；

平均值计算部，对在该电流值存储部中存储的所述电动机电流值的每单位时间的平均值进行计算；以及

平均值存储部，对在该平均值计算部中计算出的所述平均值进行存储，

还具有：

近似线计算部，将在该平均值存储部中存储的存储电流平均值按照时间序列进行排列，对该存储电流平均值求取一次近似线；以及

差分值计算部，对使用该一次近似线来计算出的预测电动机电流值与在所述排气泵的使用开始时的初始电动机电流值的差分值进行求取，

以将所述差分值超过预先设定的阈值的时间点判定为所述排气泵的保养时期的方式构成。

2.根据权利要求1所述的排气泵的堆积物感测装置，其特征在于，在所述稳态旋转模式中检测出的所述电动机电流值是，在从所述排气泵的加速模式结束后到所述电动机电流值暂时变为充分小的值的期间之外进行检测。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的排气泵的堆积物感测装置，其特征在于，所述电动机电流值的所述设定值是，在对所述气体进行排气的各处理中能取得至少一个包含所述电动机电流值的最大值（峰值电流值）的数据的范围内尽量大的值。

4.根据权利要求1至权利要求3中的任一项所述的排气泵的堆积物感测装置，其特征在于，所述电动机电流值的所述设定值是，根据所述排气泵的生成物的堆积状况来决定。

5.一种排气泵，其特征在于，具备权利要求1至权利要求4中的任一项所述的排气泵的堆积物感测装置。