[发明专利]用于对细长的、圆柱形的构件进行等离子涂覆的装置和方法

权利要求书

1.一种用于对细长的、圆柱形的构件进行等离子涂覆的装置，包括：

至少一个处理腔(1)，

第一存储腔(2)，所述第一存储腔(2)与所述处理腔(1)没有闭锁装置地连接，

第二存储腔(3)，所述第二存储腔(3)在所述处理腔(1)的背离所述第一存储腔的侧面上与所述处理腔(1)没有闭锁装置地连接，

细长的第一传送腔(4)，所述第一传送腔(4)在背离所述处理腔的侧面上与所述第一存储腔(2)连接，

细长的第二传送腔(5)，所述第二传送腔(5)在背离所述处理腔的侧面上与所述第二存储腔(3)连接，

在所述第一传送腔(4)的两个端部上和所述第二传送腔(5)的两个端部上的闭锁装置(9、10、11、12)，

一个或多个泵系统(6、36)，所述泵系统用于对所述处理腔(1)、所述第一存储腔(2)和所述第二存储腔(3)以及所述第一传送腔(4)和所述第二传送腔(5)进行排真空，

在所述第一传送腔和所述第二传送腔(4、5)中以及所述第一存储腔和所述第二存储腔(2、3)中的运送装置，所述运送装置将至少两个构件(13、14)同时并且彼此平行定向地供应给所述处理腔(1)和从所述处理腔(1)导出，

在所述处理腔(1)中或上的至少一个等离子燃烧器(37)，该等离子燃烧器(37)的等离子体射束以0°和180°的不同的角度相对于所述运送装置的运送方向定向，所述至少两个构件(13、14)同时用导入等离子体射束(39)中的涂覆材料涂覆。

2.根据上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述处理腔(1)比待涂覆的构件(13、14)短，并且第一传送腔和第二传送腔(4、5)比待涂覆的构件(13、14)长。

3.根据上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述运送装置装备有多个滚轮单元(26)，每个所述滚轮单元装备有一个滚轮支承件(33)和至少三个在所述滚轮支承件上并排设置的滚轮(27、28、29)，一个所述滚轮单元(33)的所述滚轮(27、28、29)的旋转轴线相互平行和错开。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述滚轮(27、28、29)的旋转轴线与所述构件的运送方向之间的角度大于0°小于90°。

5.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述滚轮单元(26)可旋转地设置在支座(30)上，所述滚轮(27、28、29)的旋转轴线与所述构件(13、14)的运送方向之间的角度是可调的。

6.根据权利要求3、4或5所述的装置，其特征在于，所述运送装置装备有驱动装置(34、35)，所述驱动装置驱动所述滚轮单元(26)的所有滚轮(27、28、29)至相同的旋转速度。

7.根据上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置装备有前置于所述第一传送腔(4)中的前置模块(7)，所述前置模块(7)装备有运送装置，所述运送装置将至少两个构件同时运送到所述第一传送腔(4)中。

8.根据上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置装备有后置于所述第二传送腔(5)中的后置模块(8)，所述后置模块(8)装备有运送装置，所述运送装置将至少两个构件同时从所述第二传送腔(5)运送出来。

9.根据权利要求7或8所述的装置，其特征在于，所述前置模块(7)和/或后置模块(8)装备有用于所述构件(13、14)的能抬起和降下支承件(25)。

10.根据上述权利要求中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置在所述第一传送腔(4)上或在所述第一存储腔(2)上装备有第一测量装置，所述第一测量装置在运送期间检测所述构件(13、14)的至少一个物理特性，并且所述装置在所述第二传送腔(5)上或在所述第二存储腔(3)上装备有第二测量装置，所述第二测量装置检测所述构件(13、14)的与所述第一测量装置所检测的物理特性相同的物理特性。

11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述第一测量装置和所述第二测量装置分别装备有至少一个光源以及分别装备有至少一个光传感器，所述光传感器检测由所述构件(13、14)反射的光源的光。