[发明专利]流体控制装置

权利要求书

1.一种流体控制装置，包括：上层，其包括多个配置的流体控制设备；和下层，其具有用于将上层的多个流体控制设备连接的多个通路块，作为上层的流体控制设备而具有用于控制流量的流量控制器，该流量控制器在流量控制器主体的入口侧及出口侧设有伸出部，该流体控制装置呈并列状地配置有多列由上层和下层构成的列，其特征在于，

作为下层的通路块，具有跨越多列地配置的至少1个多列用通路块，多列用通路块跨越上层的全部列中的一部分的至少2列地支承流量控制器的入口侧或出口侧的伸出部以及与该伸出部相邻的开关阀，

在多列用通路块内设有：纵向通路，其用于将呈串联状地排列的流体控制设备的通路彼此连通；和横向通路，其用于将相邻列的流体控制设备的通路彼此连通，纵向通路具有用于将所述流量控制器的伸出部与所述开关阀连通的通路。

2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，作为下层的通路块还具有单列用通路块，该单列用通路块仅支承1列量的多列用通路块所支承的至少2个上层构件，该流体控制装置将至少1个多列用通路块及至少1个单列用通路块并用。

3.根据权利要求1或2所述的流体控制装置，其特征在于，在相邻列的通路块的上表面开口的通路彼此通过倒U字状配管而连接。

4.根据权利要求1或2所述的流体控制装置，其特征在于，作为多列用通路块而使用第1多列用通路块和第2多列用通路块这2种多列用通路块，其中，第1多列用通路块支承流量控制器的入口侧伸出部及与其呈串联状地配置的2个入口侧开关阀，第2多列用通路块支承流量控制器的出口侧伸出部及与其呈串联状地配置的1个出口侧开关阀。