[发明专利]用于基板处理的直流灯驱动器

权利要求书

1.一种用于在处理腔室内加热基板的设备，包含：

灯群组，所述灯群组包含一或更多组灯以提供辐射能以当基板设置于所述处理腔室内时加热所述基板，其中每组灯包含多个串联线接的灯，且其中每组灯相对于所述一或更多组灯中的其他组灯并联线接；

交流(AC)电源，所述交流电源用于产生交流输入波形；以及

灯驱动器，所述灯驱动器用于为所述灯群组供电，所述灯驱动器包含：

整流器，所述整流器耦接至所述交流电源，用于将所述交流输入波形转换成直流电压；以及

直流-直流(DC/DC)变换器，用于降低直流电的电压。

2.如权利要求1所述的设备，其中所述交流电源是三相电源，其中所述整流器具有三相输入且跨越各相的电流是平衡的。

3.如权利要求1所述的设备，其中所述交流电源是三相电源，且其中所述整流器包含：

三个二极管对，二极管对中的每个二极管串联连接，且每个二极管对彼此并联连接，以产生所述直流电压；以及

电容器，所述电容器并联连接至所述二极管对，以使所述直流电压变平滑。

4.如权利要求1所述的设备，其中所述整流器进一步包含：

第一二极管对和第二二极管对的二极管电桥，其中在所述二极管对中的第一二极管和第二二极管串联连接，且所述第一二极管对和所述第二二极管对并联连接，以产生所述直流电压；以及

电容器，所述电容器并联连接至所述第一二极管对和所述第二二极管对，以使所述直流电压变平滑。

5.如权利要求1至4中任何一项所述的设备，进一步包含：

多个灯群组，所述多个灯群组包含一或更多组灯，其中每组灯包含多个串联线接的灯，且其中每组灯相对于所述一或更多组灯中的其他组灯并联线接；以及

多个灯驱动器，所述多个灯驱动器连接至所述交流电源，其中每个灯驱动器分别与所述多个灯群组中的相应灯群组耦接。

6.如权利要求7所述的设备，其中所述多个灯驱动器共享所述整流器，且其中每个灯驱动器包括相应的直流-直流变换器。

7.如权利要求1至4中任何一项所述的设备，其中所述直流-直流变换器是降压变换器。

8.如权利要求1至4中任何一项所述的设备，其中所述整流器是无源桥式整流器或开关模式的有源整流器。

9.如权利要求1至4中任何一项所述的设备，进一步包含极性转换器，所述极性转换器耦接至所述灯驱动器以反转所述灯驱动器的极性。

10.如权利要求1至4中任何一项所述的设备，其中所述组灯包含第一灯和第二灯，所述第一灯和所述第二灯约80伏特至约120伏特且彼此串联连接。

11.如权利要求1至4中任何一项所述的设备，进一步包含：

基板支撑件，所述基板支撑件设置于所述处理腔室内，其中所述灯群组被配置以提供辐射能至所述基板支撑件的支撑表面。

12.一种用于在处理腔室内加热基板的方法，包含以下步骤：

将交流(AC)电源电压转换成直流(DC)电源电压；

使用所述直流电压为驱动器供电，所述驱动器作为负载；以及

为一或更多个灯群组供电来提供辐射能以加热所述处理腔室内的所述基板，每一灯群组包含一或更多组灯，其中每组灯包含多个串联线接的灯，且其中每组灯相对于所述一或更多组灯中的其他组灯并联线接。

13.如权利要求12所述的方法，其中所述一或更多个灯群组包含多个灯群组且所述方法进一步包含以下步骤：

为所述灯驱动器提供多个通道，其中每个通道耦接至所述多个灯群组中的各自的灯群组。

14.如权利要求12至13中任何一项所述的方法，进一步包含以下步骤：

提供三相电源作为所述交流电源。

15.如权利要求14所述的方法，其中所述转换的步骤进一步包含以下步骤之一或更多：

利用电容器使所述直流电压变平滑；或

平衡跨越所述交流电源各相的电流。