[发明专利]扫描电子显微镜

权利要求书

1.一种扫描透过电子显微镜，其特征在于，具备：

电子源，其产生电子束；

偏转器，其执行偏转，以便利用所述电子束在所述样本上进行扫描；

物镜，其使所述电子束会聚在所述样本上；

检测器，其检测透过了所述样本的扫描透过电子；和

光圈，其配置在所述样本与所述检测器之间，对所述扫描透过电子的检测角进行控制，

所述电子束以规定的开角入射至样本，

以比在所述样本上电子束直径成为最小的第一开角大的第二开角来获取晶格像。

2.根据权利要求1所述的扫描透过电子显微镜，其特征在于，

所述第二开角比布雷格角θ_B的2倍的角度大。

3.根据权利要求2所述的扫描透过电子显微镜，其特征在于，

所述第一开角比布雷格角θ_B的2倍的角度小。

4.根据权利要求1所述的扫描透过电子显微镜，其特征在于，

所述电子束的最大加速电压为30kV以下。

5.根据权利要求1所述的扫描透过电子显微镜，其特征在于，

所述检测器对因所述扫描透过电子中包含的散射电子与非散射电子之间的干涉而产生的干涉条纹所引起的信号量进行检测，通过使所述电子束在所述样本上进行扫描，从而检测所述信号量的强度变化，

所述扫描透过电子显微镜还具有根据该强度变化求出所述样本的晶格间隔的计算部。

6.根据权利要求1所述的扫描透过电子显微镜，其特征在于，

所述扫描透过电子显微镜还具备存储部，该存储部按每个所述样本预先存储所述第二开角、所述检测角、和所述物镜的焦点值来作为获取所述晶格像时的条件。

7.根据权利要求1或5所述的扫描透过电子显微镜，其特征在于，

从所述晶格像求出所述样本的晶格间隔，基于所述晶格间隔进行倍率校正。