[发明专利]化学增幅型正型感光性树脂组合物、硬化膜及其制造方法、有机EL显示装置及液晶显示装置

权利要求书

1.一种化学增幅型正型感光性树脂组合物，其特征在于包括：(A)含有满足下述(1)及下述(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分，

(1)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元、及(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，

(2)具有(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物、及具有(a2)含有交联性基的构成单元的聚合物，

其中所述(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元所含有的酸基由酸分解性基保护的基为选自由缩醛的形式保护的保护羧基以及由缩醛保护的保护酚性羟基的至少1种，

所述(a2)含有交联性基的构成单元中所含有的交联性基为选自环氧基、氧杂环丁基、及由-NH-CH₂-O-R所表示的基中的至少1种，其中R为氢原子或碳数为1～20的烷基；

(S)由下述通式(S)所表示的化合物，

通式(S)

[化1]

通式(S)中，R¹、R²及R³分别独立表示选自环氧基、氧杂环丁基、乙烯性不饱和基、烷氧基硅烷基、异氰酸酯基、封闭型异氰酸酯基、硫醇基、羧基、羟基、丁二酸酐基、碳数1～10的烷基或由此些组合的基中的至少1种基，且R¹、R²及R³中的至少1个为选自环氧基、氧杂环丁基、乙烯性不饱和基、烷氧基硅烷基、异氰酸酯基、封闭型异氰酸酯基、硫醇基、羧基、羟基及丁二酸酐基中的至少1种基；

(B)光酸产生剂；以及

(D)溶剂。

2.根据权利要求1所述的化学增幅型正型感光性树脂组合物，其特征在于，还包括(X)抗氧化剂。

3.根据权利要求1或2所述的化学增幅型正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述(a1)含有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元为由下述通式(A2')所表示的构成单元：

通式(A2')

[化2]

通式(A2')中，R¹及R²分别表示氢原子、烷基或芳基，至少R¹及R²的任一个为烷基或芳基，R³表示烷基或芳基，R¹或R²与R³可连结而形成环状醚，R⁴表示氢原子或甲基，X表示单键或亚芳基。

4.根据权利要求1或2所述的化学增幅型正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述(A)聚合物成分的任一个为还含有酸基的聚合物。

5.根据权利要求1或2所述的化学增幅型正型感光性树脂组合物，其特征在于，所述(B)光酸产生剂为肟磺酸酯化合物。

6.根据权利要求1所述的化学增幅型正型感光性树脂组合物，其特征在于，R¹、R²及R³中的至少1个为选自环氧基、氧杂环丁基、乙烯性不饱和基、烷氧基硅烷基、羧基、羟基、丁二酸酐基及封闭型异氰酸酯基中的至少1种基。

7.根据权利要求1或2所述的化学增幅型正型感光性树脂组合物，其特征在于，还包括交联剂。

8.一种硬化膜的制造方法，其特征在于包括：

(1)将根据权利要求1至7中任一项所述的化学增幅型正型感光性树脂组合物涂布于基板上的步骤；

(2)自所涂布的化学增幅型正型感光性树脂组合物中去除溶剂的步骤；

(3)利用活性放射线进行曝光的步骤；

(4)利用水性显影液进行显影的步骤；以及

(5)进行热硬化的后烘烤步骤。

9.根据权利要求8所述的硬化膜的制造方法，其特征在于，在所述显影步骤后、后烘烤步骤前，包括进行全面曝光的步骤。

10.一种硬化膜，其特征在于，其是使根据权利要求1至7中任一项所述的化学增幅型正型感光性树脂组合物硬化而形成。

11.根据权利要求10所述的硬化膜，其特征在于，其为层间绝缘膜。

12.一种液晶显示装置，其特征在于包括根据权利要求10或11所述的硬化膜。

13.一种有机电致发光显示装置，其特征在于包括根据权利要求10或11所述的硬化膜。