[发明专利]制造设备的监视装置以及监视方法有效
申请号: | 201380022825.7 | 申请日: | 2013-07-02 |
公开(公告)号: | CN104272431B | 公开(公告)日: | 2017-03-08 |
发明(设计)人: | 山地要;鱼山和哉;森田康之;宫武宏明 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;G05B19/418 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 李洋,舒艳君 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 设备 监视 装置 以及 方法 | ||
技术领域
本发明涉及制造设备的监视装置以及监视方法。
背景技术
以往,在半导体器件、平板显示器用基板或者太阳能电池板等的制造中,使用由多个制造装置构成的制造设备。另外,这样的制造设备配设在洁净室等工厂内。在像这样的洁净室等工厂内进行作业的作业者通过蜂鸣声、旋转灯的发光等得到从位于远方的制造设备发出的各种信息。
此外,提出有利用了使用移动电话所具备的数码相机功能,并使由数码相机捕捉的被拍摄体图像的相对的移动反映到与监视器上的显示中数据重叠地显示的箭头指针图标和其它的图像数据的移动中的数码相机功能的多维数字图像复合处理用接口技术(例如,参照专利文献1。)
专利文献1:日本特开2006-285475号公报
如上述那样,在以往通过蜂鸣声、旋转灯的发光等得到从洁净室等工厂内的制造设备中的位于远方的装置发出的各种信息。因此,有在得到的信息上有限制而得不到详细的信息的技术问题。
发明内容
本发明是为了应对上述以往的情况而完成的,目的在于提供与以往相比能够容易地获取更多的制造设备的信息的制造设备的监视装置以及监视方法。
本发明的制造设备的监视装置的一个方式,是通过服务器和能够与该服务器通信的移动终端来监视配设在工厂内的包含至少多个制造装置的制造设备的制造设备的监视装置,其特征在于,上述移动终端具有:位置信息获取单元,其获取与该移动终端的当前的位置有关的位置信息;拍摄元件;方向检测单元,其检测上述拍摄元件所朝向的方向;以及显示单元,上述服务器具有存储单元,该存储单元存储与上述工厂内的上述制造设备的布局有关的布局信息、和与上述制造设备有关的制造设备信息,在上述拍摄元件朝向上述制造设备时,上述服务器基于通过上述位置信息获取单元获取到的位置信息、通过上述方向检测单元检测到的方向信息、上述拍摄元件的视角以及上述布局信息,来确定上述拍摄元件所朝向的上述制造设备,从上述存储单元提取确定出的上述制造设备的制造设备信息,在上述显示单元显示提取出的上述制造设备信息的至少一部分。
本发明的制造设备的监视装置的另一方式,是通过服务器和能够与该服务器通信的移动终端来监视配设在工厂内的制造设备的制造设备的监视装置,其特征在于,上述移动终端具有:位置信息获取单元,其获取与该移动终端的当前的位置有关的位置信息;获取上述制造设备的布局信息的单元;拍摄元件;方向检测单元,其检测上述拍摄元件所朝向的方向;以及显示单元,上述服务器具有存储单元,该存储单元存储与上述工厂内的上述制造设备有关的制造设备信息,在上述拍摄元件朝向上述制造设备时,上述服务器基于通过上述位置信息获取单元获取到的位置信息、通过上述方向检测单元检测到的方向信息、上述拍摄元件的视角以及上述布局信息,来确定上述拍摄元件所朝向的上述制造设备,从上述存储单元提取确定出的上述制造设备的制造设备信息,在上述显示单元显示提取出的上述制造设备信息的至少一部分。
本发明的制造设备的监视方法的一个方式,是通过服务器和能够与该服务器通信的移动终端来监视配设在工厂内的包含至少多个制造装置的制造设备的制造设备的监视方法,其特征在于,上述移动终端具有:位置信息获取单元,其获取与该移动终端的当前的位置有关的位置信息;拍摄元件;方向检测单元,其检测上述拍摄元件所朝向的方向;以及显示单元,上述服务器具有存储单元,该存储单元存储与上述工厂内的上述制造设备的布局有关的布局信息、和与上述制造设备有关的制造设备信息,在上述拍摄元件朝向上述制造设备时,上述服务器基于通过上述位置信息获取单元获取到的位置信息、通过上述方向检测单元检测到的方向信息、上述拍摄元件的视角以及上述布局信息,来确定上述拍摄元件所朝向的上述制造设备,从上述存储单元提取确定出的上述制造设备的制造设备信息,在上述显示单元显示提取出的上述制造设备信息的至少一部分。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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