[发明专利]用于预热真空泵装置的方法和设备

权利要求书

1.一种用于预热真空泵装置的方法，所述真空泵装置具有增压泵和在所述增压泵下游的前级泵，用于抽空处理室，所述方法包括：

将所述增压泵设定在第一速度处，所述第一速度高于所述增压泵在其处于空转模式时的空转速度；以及

至少在从所述真空泵装置从所述空转模式被起动时到所述增压泵达到等于或超过第一预定阈值的温度时的时间段内，将所述增压泵的出口处的前级压力控制在从0.1毫巴到10毫巴的范围内。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述控制前级压力包括：调节所述前级泵的速度，所述前级泵的入口连接到所述增压泵的出口。

3.如权利要求2所述的方法，其中，当所述真空泵装置从所述空转模式被起动时，将所述前级泵设定在第二速度处。

4.如权利要求3所述的方法，其中，所述前级泵的所述第二速度降低到预定水平，以便使所述增压泵的前级压力落入到从0.1毫巴到10毫巴的范围内。

5.如权利要求4所述的方法，其中，所述第二速度经过大量时间间隔逐渐地降低到所述预定水平。

6.如权利要求1所述的方法，其中，所述控制前级压力包括：在所述增压泵的出口处注入吹扫气体。

7.如权利要求6所述的方法，其中，以将所述增压泵的前级压力调节到从0.1毫巴到10毫巴的范围内的方式来控制所述吹扫气体的流速。

8.如权利要求1所述的方法，其中，将所述真空泵装置设定为准备好用于在正常操作模式下抽空所述处理室，此时所述增压泵的温度等于或超过所述第一预定阈值，且所述前级泵的温度等于或超过第二预定阈值，其中，所述第一预定阈值和所述第二预定阈值可以相同或者可以不相同。

9.一种设备，包括：

处理室；

增压泵，其入口流体连接到所述处理室的出口；

前级泵，其入口流体连接到所述增压泵的出口，所述前级泵用于与所述增压泵一起抽空所述处理室；以及

控制器，其与所述增压泵和所述前级泵电联接，所述控制器配置为至少在从所述增压泵和所述前级泵从空转模式被起动时到所述增压泵达到等于或超过第一预定阈值的温度时的时间段内，将所述增压泵的出口处的前级压力控制在从0.1毫巴到10毫巴的范围内。

10.如权利要求9所述的设备，其中，所述控制器通过调节所述前级泵的速度来控制所述增压泵的前级压力。

11.如权利要求10所述的设备，其中，当所述真空泵装置从所述空转模式被起动时，所述控制器将所述前级泵设定在预定速度处。

12.如权利要求11所述的设备，其中，所述控制器将所述前级泵的预定速度降低到预定水平，以便使所述增压泵的前级压力落入到从0.1毫巴到10毫巴的范围内。

13.如权利要求12所述的设备，其中，所述控制器使所述预定速度经过大量时间间隔逐渐地降低到所述预定水平。

14.如权利要求9所述的设备，进一步包括流体连接在所述增压泵的出口处的吹扫气体源。

15.如权利要求14所述的设备，其中，所述控制器控制正在所述增压泵的出口处注入的吹扫气体的流速，从而将所述增压泵的前级压力控制在从0.1毫巴到10毫巴的范围内。

16.如权利要求9所述的设备，其中，所述增压泵和所述前级泵被设定为准备好用于在正常操作模式下抽空所述处理室，此时所述增压泵的温度等于或超过所述第一预定阈值，且所述前级泵的温度等于或超过第二预定阈值，其中，所述第一预定阈值和所述第二预定阈值可以相同或者可以不相同。