[发明专利]静电夹具和静电夹具的制造方法

权利要求书

1.一种静电夹具，其特征在于，该静电夹具包括：

基材部，该基材部构成用于保持圆晶的夹具主体；

多个绝缘层，其由形成于上述基材部的圆晶保持侧的喷镀覆膜构成；

加热部，该加热部由导电体构成，该导电体按照在上述多个绝缘层中的一个以上绝缘层的圆晶保持侧的表面上涂敷导电性糊的方式形成；

电极部，该电极部按照在上述多个绝缘层中的一个以上绝缘层的圆晶保持侧的表面上喷镀、或涂敷导电性糊的方式形成；以及

电介体层，该电介体层由形成于上述多个绝缘层的圆晶保持侧的喷镀覆膜构成。

2.一种静电夹具，其特征在于，该静电夹具包括：

基材部，该基材部构成用于保持圆晶的夹具主体；

绝缘层，其由形成于上述基材部的圆晶保持侧的表面上的喷镀覆膜构成；

加热部，该加热部由导电体构成，该导电体按照在上述绝缘层的圆晶保持侧的表面上涂敷导电性糊的方式形成；

电极部，该电极部按照在上述绝缘层的圆晶保持侧的表面上喷镀、或涂敷导电性糊的方式形成；以及

电介体层，该电介体层由形成于上述绝缘层的圆晶保持侧的喷镀覆膜构成。

3.根据权利要求1或2所述的静电夹具，其特征在于，上述导电性糊的固化后的残渣量为5重量％以下。

4.根据权利要求1～3中任何一项所述的静电夹具，其特征在于，加热部按照5mm以下的线宽而呈细长状进行布线。

5.根据权利要求1～4中任何一项所述的静电夹具，其特征在于，形成有上述加热部的绝缘层的表面的表面粗糙度Ra值为6μm以下。

6.根据权利要求1～5中任何一项所述的静电夹具，其特征在于，上述喷镀覆膜由从氧化物类陶瓷、氮化物类陶瓷以及氟化物类陶瓷中选择的一种以上材料构成。

7.一种静电夹具的制造方法，其特征在于，该方法包括：

绝缘层形成工序，其中，在构成夹具主体的基材部的圆晶保持侧喷镀喷镀材料，从而形成绝缘层；

加热部形成工序，其中，在上述绝缘层的圆晶保持侧的表面上，通过丝网印刷法、喷墨法以及分配法中的任一方法而涂敷导电性糊，从而形成由导电体构成的加热部；

电极部形成工序，其中，在上述绝缘层的圆晶保持侧的表面上喷镀、或通过丝网印刷法、喷墨法以及分配法中的任一方法而涂敷导电性糊，从而形成电极部；以及

电介体层形成工序，其中，在上述绝缘层的圆晶保持侧上喷镀喷镀材料，从而形成电介体层。