[发明专利]滚筒模具的制作装置及制作方法

权利要求书

1.一种滚筒模具的制作装置，其是制作用于转印图案的滚筒状的压模即滚筒模具的装置，所述滚筒模具的制作装置的特征在于，包括：

照射装置，对于涂布有抗蚀剂的所述滚筒模具，所述照射装置在使该滚筒模具停止旋转的状态下将被照射物照射至规定范围；

掩模，其具有使自该照射装置照射的被照射物的一部分透过的功能；

旋转驱动装置，其使所述滚筒模具绕旋转轴旋转；

旋转量检测传感器，其在利用该旋转驱动装置使所述滚筒模具旋转时，检测所述滚筒模具的旋转量；

控制装置，其接收该旋转量检测传感器的检测信号，且发送用于调整所述被照射物被照射至所述滚筒模具的所述抗蚀剂上时的圆周方向照射位置的控制信号；以及

致动器，其基于来自该控制装置的控制信号而使所述掩模直线状移动，

在使所述滚筒模具停止旋转的状态下将所述被照射物照射至规定范围，使该滚筒模具旋转规定量并停止，并调整将所述被照射物照射至另一规定范围时的圆周方向照射位置。

2.如权利要求1所记载的滚筒模具的制作装置，其特征在于，

所述掩模使透过后的所述被照射物形成为多束平行光。

3.如权利要求1或2所记载的滚筒模具的制作装置，其特征在于，

所述致动器使所述掩模在与所述被照射物的照射方向垂直的方向上移动。

4.如权利要求3所记载的滚筒模具的制作装置，其特征在于，

所述致动器为压电致动器。

5.如权利要求1至4中任一项所记载的滚筒模具的制作装置，其特征在于，

所述被照射物为电子束。

6.如权利要求1至4中任一项所记载的滚筒模具的制作装置，其特征在于，

所述被照射物为光。

7.一种滚筒模具的制作方法，其是制作用于转印图案的滚筒状的压模即滚筒模具的方法，所述滚筒模具的制作方法的特征在于，

使自曝光装置照射的被照射物透过掩模而形成为多束被照射物；

使涂布有抗蚀剂的所述滚筒模具绕旋转轴旋转并成为停止在规定位置的状态；

检测所述滚筒模具的旋转量，从控制装置发送用于对所述被照射物的在所述滚筒模具的所述抗蚀剂上的圆周方向照射位置进行调整的控制信号；

基于该控制信号使所述掩模直线状移动；

对所述被照射物的在所述滚筒模具的所述抗蚀剂上的照射位置进行调整；以及

对该滚筒模具照射透过了所述掩模的被照射物。

8.如权利要求7所记载的滚筒模具的制作方法，其特征在于，

使透过所述掩模之后的所述被照射物形成为多束平行光。

9.如权利要求7或8所记载的滚筒模具的制作方法，其特征在于，

通过致动器使所述掩模在与所述被照射物的照射方向垂直的辊圆周方向上移动。