[发明专利]用于量化部件表面的清洁度水平的分析方法

权利要求书

1.用于量化导电样本(P)的表面(S)的清洁度和/或活跃度水平的分析方法，其特征在于，所述方法包括：

-在包含离子的电解质(1)中放入反电极(2)和所述样本(P)的所述表面(S)；

-使用电流生成器(G)在所述反电极(2)和要量化其清洁度和/或活跃度水平的所述样本(P)的所述表面(S)之间施加电压(V)；

-测量在所述反电极(2)和所述导电样本(P)的所述表面(S)之间流动的电流(I)随时间的变化；以及

-依据对电流(I)的变化的所述测量评估所述表面(S)的清洁度和/或活跃度水平，

其中为了依据对所述电流的变化的测量来评估清洁度和/或活跃度水平，确定代表时间段(X)内所测得的电流的变化率的参数(Kn)并且将此参数(Kn)与预设阈值值(Kref)进行比较，随后取决于这一比较，给所述样本(P)的所述表面(S)赋值(R)，所述值量化所述表面的清洁度和/或活跃度水平。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述反电极(2)和所述样本(P)的所述表面(S)之间施加的所述电压(V)是使用也放置在所述电解质(1)中的参考电极(3)来测量的。

3.根据前述任一项权利要求所述的方法，其特征在于，所述电流生成器(G)被调节以使得所述电压(V)在测量所述电流(I)随时间的变化期间是恒定的，并且使得此恒定电压(V)的绝对值低于或等于预设电压阈值。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述预设电压阈值低于0.5伏。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述预设电压阈值低于或等于0.15伏。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述预设电压阈值高于0.05伏。

7.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述参考电极(3)是氯化钾饱和的氯化亚汞电极或Ag/AgCl电极，而所述反电极是铂或金电极。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，代表所述电流的变化率的所述参数是基于在所述时间段内对所述电流随时间的变化的测量由线性回归定义的直线(Dn)的斜率Kn，所述预设阈值值为预设斜率值Kref，而所述比较包括计算比值R＝Kn/Kref，此比值R的值允许量化所述样本(P)的所述表面(S)的清洁度和/或活跃度水平。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述时间段(X)在所述电流已被施加在所述反电极(2)和所述导电样本(P)的所述表面(S)之间一时间长度(Y)之后开始。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述时间长度(Y)为至少5秒。

11.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述时间长度(Y)为至少20秒。

12.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述电解质(1)包括：

-从卤盐、铵盐、碳酸盐、有机盐中选择的盐；

-极性溶剂；以及

-至少一种酸和/或至少一种碱，

-所述至少一种酸是从包括以下各种酸的组中选择的：矿物酸，以及有机酸，以及

-所述至少一种碱是从包括以下各种碱的组中选择的：苛性钠、苛性钾以及氨。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述有机盐包括羧化物、氰化盐以及有机镁盐，所述极性溶剂包括酮类、醇类、醛类、水介质和凝胶，所述矿物酸包括磷酸和硫酸，且所述有机酸包括羧酸。

14.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，其清洁度和/或活跃度水平被量化的所述样本(P)的所述表面(S)被由所述样本(P)承载的电绝缘层(9)界定。

15.用于制造元件的过程，其特征在于：

-所述元件和样本经受相同的表面准备操作；随后

-通过实现根据前述权利要求中任一项的分析方法来量化如此准备的所述样本的表面的清洁度和/或活跃度水平；随后

-如果如此量化的所述样本表面的清洁度和/或活跃度水平被认为是相对于预设标准满意的，则所述元件经受附加操作以处理其表面；以及

-如果如此量化的所述样本表面的清洁度和/或活跃度水平被认为是相对于所述预设标准不满意的，则所述元件再次经受所述表面准备操作。