[发明专利]用于排空腔室的泵装置和方法

权利要求书

1.一种用于排空腔室(42)的方法，其中由增压泵(46)和下游前置泵(47)构成的泵装置被连接到腔室(42)，所述方法具有下列步骤：

a.使所述增压泵(46)在所述增压泵(46)的进口关闭的情况下加速；

b.将来自腔室(42)的气体引入到所述增压泵(46)中，使得从所述增压泵(46)，临时地提取超过由所述增压泵(46)的驱动器(17)提供的功率的过剩功率；并且

c.将所述气体输送至所述增压泵(46)的出口，其中，

i.只要所述增压泵(46)的出口压力位于预定的阈值之上，则所述气体通过旁通阀(49)排放；

ii.当所述增压泵(46)的出口压力已经低于所述阈值时，则所述气体被向前传导到所述前置泵(47)；

d.借助于所述前置泵(47)压缩从所述增压泵(46)供应的气体。

2.如权利要求1所述的方法，其中，所述过剩功率的峰值等于驱动功率的至少50％。

3.如权利要求2所述的方法，其中，所述过剩功率的峰值等于驱动功率的至少100％。

4.如权利要求2所述的方法，其中，所述过剩功率的峰值等于驱动功率的至少200％。

5.如权利要求1所述的方法，其中，在排出过程的至少10％期间提取所述过剩功率。

6.如权利要求5所述的方法，其中，在所述排出过程的至少20％期间提取所述过剩功率。

7.如权利要求5所述的方法，其中，在所述排出过程的至少50％期间提取所述过剩功率。

8.如权利要求1所述的方法，其中，所述增压泵(46)在排出过程开始时的转速高于8000rpm。

9.如权利要求8所述的方法，其中，所述增压泵(46)在所述排出过程开始时的转速高于10000rpm。

10.如权利要求8所述的方法，其中，所述增压泵(46)在所述排出过程开始时的转速高于12000rpm。

11.如权利要求1所述的方法，其中，所述增压泵(46)的出口压力的峰值在大气压以上至少1巴。

12.如权利要求11所述的方法，其中，所述增压泵(46)的出口压力的峰值在大气压以上至少2巴。

13.如权利要求11所述的方法，其中，所述增压泵(46)的出口压力的峰值在大气压以上至少3巴。

14.如权利要求1至13中的任一项所述的方法，其中所述腔室为闸室(42)，所述闸室(42)以小于15秒的循环时间操作。

15.如权利要求14所述的方法，其中所述闸室(42)以小于10秒的循环时间操作。

16.如权利要求14所述的方法，其中在所述闸室(42)的所述循环时间的至少5％期间，从所述增压泵提取过剩功率。

17.如权利要求16所述的方法，其中在所述闸室(42)的所述循环时间的至少10％期间，从所述增压泵提取过剩功率。

18.一种具有增压泵(46)并且具有前置泵(47)的泵装置，其中所述增压泵(46)的出口连接到所述前置泵(47)的进口，其中，在所述增压泵(46)与所述前置泵(47)之间布置有旁通阀(49)，经由所述增压泵(46)输送的气体能够借助于所述旁通阀(49)被排放同时旁通所述前置泵(47)，其中控制单元(16)被构造成在所述增压泵(46)的转速在预定的转速阈值之上的情况下输出控制信号，使得所述增压泵(46)准备提取超过由所述增压泵(46)的驱动器(17)提供的功率的过剩功率。

19.如权利要求18所述的泵装置，其中，所述转速阈值比所述增压泵的输送转速高。

20.如权利要求19所述的泵装置，其中，所述转速阈值比所述增压泵的输送转速高至少30％。

21.如权利要求19所述的泵装置，其中，所述转速阈值比所述增压泵的输送转速高至少50％。

22.如权利要求18所述的泵装置，其中所述转速阈值高于8000rpm。

23.如权利要求22所述的泵装置，其中所述转速阈值高于10000rpm。