[发明专利]经图案化的导电基材的制造方法、通过该方法而进行了图案化的导电基材及触控面板

权利要求书

1.经图案化的导电基材的制造方法，包括下述工序：

于至少依次形成有基材、无机氧化物层及导电层的导电基材的最外层的一部分，形成抗蚀剂层的工序；和通过使所述导电基材与含有氟化物离子的水溶液接触，在未形成抗蚀剂的部分，将所述导电层与所述无机氧化物层一起除去，从而对所述导电层进行图案化的工序。

2.如权利要求1所述的经图案化的导电基材的制造方法，其中，所述含有氟化物离子的水溶液是碱金属的氟化物和氟化物的铵盐中的任意1种以上的水溶液。

3.如权利要求1或2所述的经图案化的导电基材的制造方法，其中，含有氟化物离子的水溶液的pH为1～7。

4.如权利要求1～3中任一项所述的经图案化的导电基材的制造方法，其中，所述无机氧化物层是包含二氧化硅及/或氧化铝的层。

5.权利要求1～4中任一项所述的经图案化的导电基材的制造方法，其中，所述导电层中包含碳纳米管。

6.利用所述权利要求1～4中任一项所述的制造方法进行了图案化的导电基材，所述导电基材在导电层中包含碳纳米管，除去导电层的部分为基材表面露出的状态。

7.触控面板，其使用了权利要求6所述的经图案化的导电基材。