[发明专利]用于提供气体混合物的方法和设备

权利要求书

1.一种以相对比例提供气体的混合物的方法，所述混合物至少包括第一气体和不同于所述第一气体的第二气体，所述方法包括：

a)以第一流率从第一气体源供应所述第一气体；

b)以第二流率从第二气体源供应所述第二气体；

c)混合所述第一气体和所述第二气体，以形成混合气体；以及

d)将所述混合气体供应到处于大约大气压力的出口，其中，所述方法进一步包括：

e)测量与所述混合气体接触的高频率平面压电晶体振荡器的共振频率；

f)测量大气压力；

g)根据所述测量的共振频率来确定所述混合气体的密度；

h)根据所述密度、大气压力测量值和所述气体的确定或预定的温度而确定所述混合气体的平均分子量；以及

i)响应于所述确定的平均分子量而自动地控制所述第一流率和所述第二流率中的一个，以控制所述混合气体中的所述第一气体和所述第二气体的相对比例。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤e)包括

j)使用驱动电路来驱动所述压电晶体振荡器，使得所述压电晶体振荡器以单个共振频率共振。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在所述第一气体源下游提供第一阀，以调整所述第一流率，在所述第二气体源下游提供第二阀，以调整所述第二流率，并且步骤i)包括控制所述第一阀和所述第二阀中的一个。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一阀和所述第二阀中的另一个可手动地操作。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，步骤f)包括：

k)测量与大气接触的高频率平面压电晶体振荡器的共振频率；

l)根据所述共振频率来确定大气密度；以及

m)根据空气的已知成分和所测量的大气密度来确定大气压力。

6.一种气体混合器组件，包括：

用于供应第一气体的第一气体源；

用于供应不同于所述第一气体的第二气体的第二气体源；

用于调整所述第一气体的流量的第一阀；

用于调整所述第二气体的流量的第二阀；

混合器，其位于所述第一阀和所述第二阀的下游，并且布置成在使用中混合所述第一气体和所述第二气体，以提供混合气体；

用于所述混合气体的、处于大约大气压力的出口；

布置成测量所述混合气体的平均分子量的量计，其包括与所述混合气体接触的高频率平面压电晶体振荡器，以及可运行来确定大气压力的传感器，所述量计可运行来根据所述压电晶体振荡器的测量的共振频率来确定所述混合气体的密度，以及根据所述密度、大气压力测量值和所述混合气体的确定或预定的温度来确定所述混合气体的平均分子量；以及

控制器，其可运行来响应于测量的所述混合气体的平均分子量，而控制所述第一阀和所述第二阀中的至少一个，以便控制所述混合气体中的所述第一气体和所述第二气体的相对比例。

7.根据权利要求6所述的气体混合器组件，其特征在于，所述量计进一步包括驱动电路，所述驱动电路用于驱动所述压电晶体振荡器，使得所述压电晶体振荡器以单个共振频率共振。

8.根据权利要求6或7所述的气体混合器组件，其特征在于，所述量计进一步包括温度传感器。

9.根据权利要求6或7所述的气体混合器组件，其特征在于，可运行来测量大气压力的所述传感器包括与处于大气压力的空气接触的高频率平面压电晶体振荡器。

10.根据权利要求6或7所述的气体混合器组件，其特征在于，所述第一阀和所述第二阀中的一个包括可由所述控制器以电子的方式操作的螺线管阀。

11.根据权利要求10所述的气体混合器组件，其特征在于，所述第一阀和所述第二阀中的另一个可手动地操作。