[发明专利]热电转换材料及使用其的热电转换模块以及其制造方法

权利要求书

1.热电转换材料，其由下述组成式(1)表示，且包含具有MgAgAs型晶体结构的多晶体，其特征在于，多晶体的绝缘被膜形成面的表面粗糙度Ra为0.2μm以上，在多晶体的电极接合面以外的面设有绝缘被膜，在多晶体的电极接合面设置有金属膜，所述金属膜为Ni或Au，所述绝缘被膜的主成分包含选自氧化硅、氧化铁、氧化铬、磷酸铝和氧化锆的至少一种以上，所述绝缘被膜的热膨胀系数是7×10^-6～12×10^-6/℃，所述绝缘被膜的热膨胀系数与满足组成式(1)的热电转换材料近似，

通式：(A_a1Ti_b1)_xD_yX_100-x-y组成式(1)

所述组成式(1)中，0.2≤a1≤0.7，0.3≤b1≤0.8，a1+b1＝1，30≤x≤35，30≤y≤35，A为Zr、Hf的至少一种以上的元素，D为选自由Ni、Co及Fe构成的组的至少一种以上的元素，X为Sn及Sb的至少一种以上的元素。

2.根据权利要求1所述的热电转换材料，其特征在于，绝缘被膜的平均厚度为3μm以上。

3.根据权利要求1～2中任一项所述的热电转换材料，其特征在于，所述D为选自由Ni及Co构成的组的至少一种以上的元素。

4.热电转换模块，其特征在于，使用了权利要求1～2中任一项所述的热电转换材料。

5.热电转换材料的制造方法，其特征在于，具备：

制备由下述组成式(1)表示且包含具有MgAgAs型晶体结构的多晶体的热电转换材料的工序，所述多晶体的绝缘被膜形成面的表面粗糙度Ra为0.2μm以上；

在热电转换材料的电极接合面以外的面形成绝缘被膜的工序；以及

在多晶体的电极接合面设置金属膜的工序，所述金属膜为Ni或Au，

所述绝缘被膜的主成分包含选自氧化硅、氧化铁、氧化铬、磷酸铝和氧化锆的至少一种以上，所述绝缘被膜的热膨胀系数是7×10^-6～12×10^-6/℃，所述绝缘被膜的热膨胀系数与满足组成式(1)的热电转换材料近似，

通式：(A_a1Ti_b1)_xD_yX_100-x-y组成式(1)

上述组成式(1)中，0.2≤a1≤0.7，0.3≤b1≤0.8，a1+b1＝1，30≤x≤35，30≤y≤35，A为Zr、Hf的至少一种以上的元素，D为选自由Ni、Co及Fe构成的组的至少一种以上的元素，X为Sn及Sb的至少一种以上的元素。

6.根据权利要求5所述的热电转换材料的制造方法，其特征在于，在形成绝缘被膜的工序之后，在电极接合面实施金属镀层或蒸镀膜。