[发明专利]物理量传感器

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，

具有：

基板(10)；

驱动平衡块，经由第1弹簧(43b)支承于上述基板；

检测平衡块(35、36)，经由第2弹簧(41)支承在上述驱动平衡块上，具备检测用可动电极(35b、36b)；以及

检测用固定部(24、25)，具备相对于上述检测用可动电极对置配置的检测用固定电极(24b、25b)；

在使上述驱动平衡块驱动振动时施加物理量的情况下，随着该物理量的施加而上述检测用可动电极与上述检测平衡块一起位移，从而基于上述检测用可动电极与上述检测用固定电极之间的间隔变化进行上述物理量的检测；

当设随着物理量的施加而上述驱动平衡块及上述检测平衡块向同方向移动的同相模式的共振频率为f1、设上述驱动平衡块及上述检测平衡块向反方向移动的同相吸收模式的共振频率为f3、设n为整数时，上述同相吸收模式的共振频率f3比上述同相模式的共振频率f1大，使绝对值Δf3比对上述同相模式的共振频率f1乘以避免差D而得到的值大的关系成立，并且使上述避免差D比0％大，该绝对值Δf3是上述同相吸收模式的共振频率f3与上述同相模式的共振频率f1的n倍的值的差的绝对值，该避免差D表示使该绝对值Δf3从上述同相模式的共振频率f1偏差的程度，其中，f3≠n·f1。

2.如权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

上述避免差D为5％以上。

3.如权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，

上述避免差D为10％以上。

4.一种振动型角速度传感器，在角速度检测中使用权利要求1～3中任一项所述的物理量传感器，其特征在于，

上述驱动平衡块为将上述检测平衡块的周围包围并且经由与上述第2弹簧相当的检测梁连结上述检测平衡块的一对内侧驱动平衡块(33、34)；

该振动型角速度传感器具有：

一对外侧驱动平衡块(31、32)，配置在隔着上述一对内侧驱动平衡块的两侧；以及

驱动用固定部(22、23)，产生使上述内侧驱动平衡块和上述外侧驱动平衡块相互向反方向振动的静电引力；

上述内侧驱动平衡块和上述外侧驱动平衡块用驱动梁(42)连结；并且，

用包括上述第1弹簧的支承部件(43)将连结着上述外侧驱动平衡块及上述检测平衡块的上述内侧驱动平衡块支承在上述基板上；

该振动型角速度传感器构成为，基于上述驱动用固定部产生的静电引力使上述驱动梁挠曲，进行使上述外侧驱动平衡块和上述内侧驱动平衡块振动的传感器驱动，当在该传感器驱动中被施加角速度作为物理量时，通过上述检测梁挠曲，使上述检测平衡块在与上述内侧驱动平衡块的振动方向垂直的方向上移动，基于上述检测用固定电极和上述检测用可动电极的电容变化，检测上述角速度。