[发明专利]具有光稳定透光区的抛光垫有效
申请号: | 201380030505.6 | 申请日: | 2013-04-04 |
公开(公告)号: | CN104350582B | 公开(公告)日: | 2017-03-08 |
发明(设计)人: | A.普拉萨德 | 申请(专利权)人: | 嘉柏微电子材料股份公司 |
主分类号: | H01L21/304 | 分类号: | H01L21/304;B24B37/04 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 邢岳 |
地址: | 美国伊*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有光 稳定 透光 抛光 | ||
1.一种抛光垫,其包括至少一个透光区,其中该透光区由包括(a)聚合树脂及(b)至少一种吸光化合物的材料构成,且其中该透光区在250nm至395nm范围内的一个或多个波长下具有25%或更大的总透光率。
2.权利要求1的抛光垫,其中,根据ASTM D1148-95量测,该透光区当紫外光辐照时在395nm至800nm范围内的一个或多个波长下褪色45%或更小。
3.权利要求1的抛光垫,其中在250nm至395nm和/或395nm至35,000nm范围内的一个或多个波长下,该透光区在紫外光辐照之前的总透光率与该透光区在紫外光辐照之后的总透光率相差30%或更小,且其中该紫外光辐照包括使用100瓦特汞蒸气灯在至少1,000mW/cm2的强度下辐照该透光区4分钟的持续时间。
4.权利要求1的抛光垫,其中在将该透光区暴露于紫外光辐照之后该透光区在250nm至395nm和/或395nm至35,000nm范围内的一个或多个波长下具有25%或更大的总透光率,且其中该紫外光辐照包括使用100瓦特汞蒸气灯在至少1,000mW/cm2的强度下辐照该透光区4分钟的持续时间。
5.权利要求1的抛光垫,其中由浓度为10mg/L的该吸光化合物组成的溶液在330nm至400nm范围内具有0.5或更小的吸光度。
6.权利要求1的抛光垫,其中由该吸光化合物组成的溶液不具有位于335nm至400nm范围内的最大光吸收。
7.权利要求1的抛光垫,其中该透光区在395nm至35,000nm范围内的一个或多个波长下具有25%或更大的总透光率。
8.权利要求1的抛光垫,其中该透光区在360nm至380nm范围内的一个或多个波长下具有25%或更大的总透光率。
9.权利要求1的抛光垫,其中该透光区占该抛光垫的表面积的50%或更多。
10.权利要求9的抛光垫,其中该抛光垫由该透光区组成。
11.权利要求1的抛光垫,其中该抛光垫由该材料组成。
12.权利要求1的抛光垫,其中该聚合树脂为热塑性聚合树脂。
13.权利要求1的抛光垫,其中该聚合树脂包括至少一种选自以下的脂肪族聚合物:聚氨酯、基于聚碳酸酯的聚氨酯、基于聚碳酸酯的二醇或三醇聚氨酯、基于线型脂肪族聚碳酸酯的聚氨酯、基于支化脂肪族聚碳酸酯的聚氨酯、基于环烷烃的脂肪族聚氨酯、基于聚硅氧烷的聚氨酯、(烷基)丙烯酸酯、(烷基)丙烯酸、聚偏氟乙烯、聚偏二氟乙烯、聚三氟氯乙烯、聚硅氧烷、聚碳酸酯、线型脂肪族聚碳酸酯、聚甲基-1-戊烯、以及它们的组合。
14.权利要求13的抛光垫,其中该脂肪族聚合物为热塑性聚合物、热固性聚合物、或者它们的任意组合。
15.权利要求14的抛光垫,其中该热塑性聚合物选自:热塑性聚氨酯、基于聚碳酸酯的热塑性聚氨酯、基于环烷烃的热塑性聚氨酯、基于聚硅氧烷的热塑性聚氨酯、其无规共聚物、其嵌段共聚物、以及它们的共混物。
16.权利要求13的抛光垫,其中该脂肪族聚合物为包括以下单体单元的聚氨酯:(a)一种或多种选自以下的二醇:多元醇、包括环状脂肪族环的多元醇、聚碳酸酯多元醇、包括1至1000个重复单元的聚碳酸六亚甲基酯二醇、包括1至1000个重复单元的聚亚乙基醚碳酸酯二醇、1,12-十二烷二醇、1,4-丁二醇、以及它们的组合;及(b)二环己基甲烷4,4’-二异氰酸酯。
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造