[发明专利]用于制备含氧化铟的层的方法有效
申请号: | 201380030864.1 | 申请日: | 2013-06-04 |
公开(公告)号: | CN104350179A | 公开(公告)日: | 2015-02-11 |
发明(设计)人: | J.施泰格;D.弗吕林;A.默库洛夫;A.霍佩 | 申请(专利权)人: | 赢创工业集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C18/12 | 分类号: | C23C18/12 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 周铁;林森 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制备 氧化 方法 | ||
1.用于制备含氧化铟的层的液相法,
其特征在于,
将包含以下物质的组合物施加于基材上,任选地干燥并转化成含氧化铟的层:
i) 至少一种通式MxOy(OR)z[O(R’O)eH]aXbYc[R’’OH]d的铟氧桥醇盐
其中 x = 3 - 25,
y = 1 - 10,
z = 3 - 50,
a = 0 - 25,
b = 0 - 20,
c = 1 - 20,
d = 0 - 25,
e = 0、1,
M = In,
R、R’、R’’=有机基团,
X = F、Cl、Br、I,
Y = -NO3、-NO2、
条件是,b + c = 1–20,和
ii) 至少一种溶剂。
2.根据权利要求1所述的方法,
其特征在于,
作为至少一种铟氧桥醇盐使用式MxOy(OR)zYc的氧桥醇盐,其中x = 3 - 20,y = 1 - 8,z = 3 - 25,c = 1 - 20,OR = C1-C15-烷氧基、-氧基烷基烷氧基、-芳基氧基或-氧基芳基烷氧基,且Y = -NO3;
特别优选通式MxOy(OR)zYc的这样的氧桥醇盐之一,其中x = 3 - 15,y = 1 - 5,z = 10 - 20,c = 4 - 10,
R = -CH3、-CH2CH3、-CH2CH2OCH3、-CH(CH3)2、-CH(CH3)CH2OCH3、-C(CH3)3和/或
,
且Y = NO3。
3.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,
其特征在于,
所述至少一种铟氧桥醇盐是在所述方法中使用的唯一金属氧化物前体。
4.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,
其特征在于,
所述至少一种铟氧桥醇盐以基于所述组合物的总质量计0.1-15重量%的比例存在。
5.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,
其特征在于,
所述至少一种溶剂是非质子溶剂或弱质子溶剂。
6.根据权利要求5所述的方法,
其特征在于,
所述至少一种溶剂选自甲醇、乙醇、异丙醇、四氢糠醇、1-甲氧基-2-丙醇、叔丁醇和甲苯。
7.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,
其特征在于,
所述组合物具有1 mPa·s至10 Pa·s的粘度。
8.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,
其特征在于,
所述基材由玻璃、硅、二氧化硅、金属氧化物或过渡金属氧化物、金属或聚合物材料组成。
9.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,
其特征在于,
通过涂覆方法、印刷方法、喷涂方法、旋转涂覆方法、浸渍方法或选自弯月面涂覆、狭缝涂覆、槽模涂覆和幕涂的方法,将所述无水组合物施加于所述基材上。
10.根据前述权利要求中的任一项所述的方法,
其特征在于,
所述转化通过高于150℃的温度加热进行。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法,例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法,例如无电流镀
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