[发明专利]用于测量表面上的特征结构的方法、测量组件、用于制造结构的方法和指向器

权利要求书

1.一种被配置为测量测量物的特征结构的测量组件，所述测量组件包括：

度量系统，被配置为产生测量光束；

移动器组件，被配置为选择性地移动度量系统的至少一部分以移动测量光束的方向；

检测器，具有可检测区域，所述检测器被配置为标识在所述可检测区域内的所述特征结构处的指向器光束的指向器光斑的位置；以及

控制系统，被配置为使用由所述检测器标识的位置的信息和所述指向器光束瞄准所述可检测区域内的所述特征结构之后发出的信号，检测所述指向器光束瞄准所述可检测区域内的所述特征结构的情况，进而之后，在检测出所述信号时，开始基于由所述检测器标识的位置来控制移动器组件移动测量光束的方向，测量所述特征结构。

2.根据权利要求1所述的测量组件，其中所述控制系统被配置为控制所述移动器组件移动所述测量光束的方向至所述标识的位置。

3.根据权利要求1所述的测量组件，其中所述移动器组件被配置为以两个转动自由度移动所述度量系统。

4.根据权利要求1所述的测量组件，其中所述控制系统基于由所述检测器标识的位置的信息，确定用于将所述测量光束指向标识的所述特征结构的移动器组件的移动量。

5.根据权利要求1所述的测量组件，其中，确定所述指向器光斑是否在所述可检测区域内，在确定为是在所述可检测区域内时，使用由所述检测器标识的位置的信息和所述指向器光束瞄准所述可检测区域内的所述特征结构之后发出的信号，基于由所述检测器标识的位置来控制移动器组件移动测量光束的方向，测量所述特征结构。

6.一种用于测量测量物的特征结构的方法，所述方法包括以下步骤：

利用度量系统产生测量光束；

利用移动器组件选择性地移动所述测量光束的方向；

将来自指向器的指向器光束指向所述特征结构以标识所述特征结构；

由检测器标识所述指向器光束的指向器光斑的位置；以及

使用由所述检测器标识的位置的信息和所述指向器光束瞄准所述检测器的可检测区域内的所述特征结构之后发出的信号，检测所述指向器光束瞄准所述可检测区域内的所述特征结构的情况，进而之后，在检测出所述信号时，基于由所述检测器标识的位置来控制移动器组件，对控制系统进行控制以使所述测量光束的方向移动直到所述测量光束指向标识的所述特征结构，测量测量物的特征结构。

7.根据权利要求6所述的方法，其中将所述指向器光束指向的步骤在表面上形成指向器光斑；并且其中测量所述测量物的特征结构的步骤包括移动所述测量光束的方向直到所述测量光束指向所述指向器光斑。

8.根据权利要求7所述的方法，其中测量所述测量物的特征结构的步骤包括控制所述移动器组件以移动所述测量光束的方向，使得所述测量光束跟随所述表面上的所述指向器光斑。

9.根据权利要求7所述的方法，还包括利用反馈装置产生关于所述指向器光斑的反馈信息的步骤，其中所述反馈信息被提供给所述控制系统。

10.根据权利要求7所述的方法，其中测量所述测量物的特征结构的步骤包括确定将所述测量光束指向所述指向器光斑所需要的所述测量光束的移动量的步骤。

11.根据权利要求6所述的方法，其中将所述指向器光束指向的步骤包括沿着预定路径移动所述指向器光束以指示所述特征结构。

12.一种用于制造结构的方法，包括以下步骤：基于设计信息制作结构；通过利用权利要求6所述的方法来获得结构的形状信息；以及将获得的形状信息与所述设计信息比较。

13.根据权利要求12所述的用于制造结构的方法，还包括基于所述比较的结果再处理所述结构的步骤。

14.根据权利要求12所述的用于制造结构的方法，其中再处理所述结构的步骤包括再次制作所述结构。

15.一种被配置为产生指向器光束的指向器，所述指向器光束被配置为被选择性地定位以标识通过利用测量组件来测量的测量物的特征结构，所述指向器包括：

指示器，所述指示器被配置为被控制以在指向器光斑指向所述测量物的特征结构的情况下向所述测量组件选择性地指示，

所述测量组件包括：度量系统，产生测量光束；移动器组件，选择性地移动所述测量组件的至少一部分以移动所述测量光束的方向；检测器，标识在可检测区域内的所述特征结构处的指向器光束的指向器光斑的位置；以及控制系统，使用由所述检测器标识的位置的信息和所述指向器光束瞄准所述可检测区域内的所述特征结构之后发出的信号，检测所述指向器光束瞄准所述可检测区域内的所述特征结构的情况，进而之后，在检测出所述信号时，开始基于由所述检测器标识的位置来控制移动器组件移动测量光束的方向，

所述测量组件构成为使用所述信号，基于由所述检测器标识的位置来控制所述移动器组件移动所述测量光束的方向直到所述测量光束指向标识的所述特征结构。