[发明专利]电化学装置的微波快速热处理

权利要求书

1.一种制造电化学装置的方法，所述方法包含：

沉积所述电化学装置的层于基板上；及

对所述层进行微波退火，其中所述微波退火包括选择退火条件，使所述层优先吸收微波能量，

其中，所述电化学装置进一步包括薄热电材料层，所述薄热电材料层于所述薄热电材料层上层与所述薄热电材料层下层间提供一定程度的绝热效果，且其中所述薄热电材料层为Bi₂Te₃层。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述电化学装置是厚膜电池。

3.如权利要求2所述的方法，其中所述厚膜电池是锂离子电池，所述层是沉积为浆料的锂离子阴极，且所述微波退火使所述阴极干燥及形成。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述电化学装置是薄膜电池，其中所述层是阴极层，且所述微波退火使所述阴极层结晶，其中所述阴极层沉积在阴极集电器上，所述阴极集电器沉积在所述基板上。

5.如权利要求4所述的方法，其中所述阴极层是LiCoO₂层，所述LiCoO₂层通过物理气相沉积来沉积。

6.如权利要求1所述的方法，其中所述电化学装置是电致变色装置，其中所述层是上透明导电氧化物(TCO)层，所述微波退火改善所述上透明导电氧化物层的光学透射率和电导率，且其中所述上透明导电氧化物层沉积在电致变色装置堆叠上，所述电致变色装置堆叠包括下透明导电氧化物层、阴极、固态电解质和阳极。

7.如权利要求6所述的方法，其中所述上透明导电氧化物层是溅射沉积的氧化铟锡(ITO)层。

8.如权利要求1所述的方法，其中所述电化学装置是电致变色装置，其中所述层是包括氧化镍的电极，且所述微波退火形成所述电极。