[发明专利]感光性树脂组合物、硬化膜的制造方法、硬化膜、有机EL显示装置及液晶显示装置

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其含有：

(A)包含满足下述(1)及(2)的至少一个的聚合物的聚合物成分：

(1)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元、以及(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物，

(2)包括(a1)具有酸基由酸分解性基保护的基团的构成单元的聚合物、以及包括(a2)具有交联性基的构成单元的聚合物；

(B)非离子性光酸产生剂；

(C)下述通式(S)所表示的化合物：

通式(S)

[化1]

(通式(S)中，R¹表示包含至少1个以上氮原子的基团，A表示2价连结基，R²表示有机基)；

(D)溶剂；以及

(E)烷氧基硅烷化合物。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述通式(S)中，R¹为-NR³R⁴所表示的基团(其中，R³及R⁴分别为有机基，可相互键结而形成环)。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中所述通式(S)中，R¹为5元环或者6元环的环状基。

4.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中所述通式(S)中，R¹为吗啉基。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组合物，其中所述(B)的光酸产生剂为肟磺酸酯化合物。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中所述烷氧基硅烷化合物为二烷氧基硅烷化合物或者三烷氧基硅烷化合物。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物，其包含(F)交联剂。

8.一种硬化膜的制造方法，其包括：

(1)将根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上的步骤；(2)自所涂布的感光性树脂组合物中去除溶剂的步骤；

(3)利用光化射线对去除了溶剂的感光性树脂组合物进行曝光的步骤；

(4)利用水性显影液对经曝光的感光性树脂组合物进行显影的步骤；以及

(5)对经显影的感光性树脂组合物进行热硬化的后烘烤步骤。

9.根据权利要求8所述的硬化膜的制造方法，其中在所述显影步骤后、所述后烘烤步骤前，包括对经显影的感光性树脂组合物进行全面曝光的步骤。

10.一种硬化膜，其是利用根据权利要求8或9所述的方法来形成。

11.根据权利要求10所述的硬化膜，其为层间绝缘膜。

12.一种有机电激发光显示装置或液晶显示装置，其包括根据权利要求10或11所述的硬化膜。