[发明专利]聚合物波纹管弹簧

说明书

技术领域

本公开涉及止回阀，并且更特别地涉及用于与止回阀一起使用的聚合物波纹管弹簧以及形成弹簧的方法。

背景技术

由于在工艺中使用的化学制品可能与金属成分不利地相互作用的风险，因此在化学输送工艺应用、例如半导体制造工艺中使用的止回阀不能包括任何金属成分。所以，包括聚合物成分的止回阀是期望的。然而布置在这些止回阀内的常规聚合物弹簧是不一致的，具有通过止回阀的化学制品的泄漏、不能适当地密封止回阀、止回阀内的部件的不对准以及低流动系数。

因此，需要用于与止回阀一起使用的改进弹簧。

发明内容

在实施例中，提供一种用于止回阀中的弹簧，其中所述弹簧由单件聚合物材料形成并且其中所述弹簧包括近端、与所述近端相对定位的远端以及定位在所述近端和所述远端之间的主体，其中所述主体包括壁，其中所述主体包括在邻近所述近端的所述壁的一部分上的近侧开口和在邻近所述远端的所述壁的一部分上的远侧开口，并且其中所述主体还包括在所述近侧开口和所述远侧开口之间的波纹管。

在另一实施例中，提供一种止回阀，其中所述止回阀包括外壳以及由单件聚合物材料形成的弹簧，其中所述弹簧包括近端；与所述近端相对定位的远端；以及定位在所述近端和所述远端之间的主体，其中所述主体包括壁，其中所述主体包括在邻近所述近端的所述壁的一部分上的近侧开口和在邻近所述远端的所述壁的一部分上的远侧开口，并且其中所述主体还包括在所述近侧开口和所述远侧开口之间的波纹管。

在又一实施例中，提供一种用于形成用于止回阀中的弹簧的方法，其包括提供聚合物材料以及将所述聚合物材料形成弹簧，其中所述弹簧包括近端、与所述近端相对定位的远端以及定位在所述近端和所述远端之间的主体，其中所述主体包括壁，其中所述主体包括在邻近所述近端的所述壁的一部分上的近侧开口和在邻近所述远端的所述壁的一部分上的远侧开口，并且其中所述主体还包括在所述近侧开口和所述远侧开口之间的波纹管。

附图说明

实施例在附图中作为例子被示出并且不被限制。

图1包括根据本文中所述的实施例的弹簧的图示。

图2A包括根据本文中所述的实施例的止回阀的图示。

图2B包括根据本文中所述的实施例的从线A-A看到的图2A的止回阀的横截面图的图示。

熟练技术人员应当领会图中的元件为了简化和清楚而被示出并且不必按比例绘制。例如，图中的一些元件的尺寸可以相对于其它元件放大以有助于改善对本发明的实施例的理解。

具体实施方式

与附图组合提供以下描述以有助于理解本文中公开的教导。以下论述将聚焦于教导的具体实现方式和实施例。该聚焦被提供以便有助于描述教导并且不应当被解释为限制教导的范围或可应用性。然而，其它教导当然可以在本申请中使用。

在叙述下面所述的实施例的细节之前，定义或阐释一些术语。术语“平均”旨在表示平均(即算术平均值)、中值或几何平均值。

当在本文中使用时，术语“包括”、“包含”、“具有”或其任何其它变型旨在涵盖非排他性包括。例如，包括一列特征的方法、制品或装置不必仅仅被限制到那些特征，而是可以包括未明确列出或这样的方法、制品或装置固有的其它特征。此外，除非相反地明确说明，“或”表示兼或而不是异或。例如，条件A或B由下面的任一项满足：A为真(或存在)并且B为假(或不存在)，A为假(或不存在)并且B为真(或存在)，以及A和B都为真(或存在)。

而且，“一”的使用用于描述本文中所述的元件和部件。这样做仅仅是为了方便和提供本发明的范围的一般意义。该描述应当被理解为包括一个或至少一个并且单个也包括多个，反之亦然，除非清楚它表示另外含义。例如，当在本文中描述单项时，一个以上项可以用于代替单项。类似地，在本文中描述一个以上项的情况下，单项可以代替一个以上项。

除非另外限定，本文中使用的所有技术和科学术语具有与本发明所属领域的普通技术人员通常理解的相同的含义。材料、方法和例子仅仅是示例性的并且不旨在限制。在本文中未描述的范围内，关于特定材料和处理措施的许多细节是常规的并且可以在结构领域和相应的制造领域内的参考书和其它资料中找到。