[发明专利]水性加工液有效
申请号: | 201380033371.3 | 申请日: | 2013-06-28 |
公开(公告)号: | CN104395448B | 公开(公告)日: | 2018-11-09 |
发明(设计)人: | 北村友彦 | 申请(专利权)人: | 出光兴产株式会社 |
主分类号: | C10M171/00 | 分类号: | C10M171/00;B24B27/06;B28D5/04;B28D7/02;C10M107/34;C10M173/02;H01L21/304;C10N20/02;C10N20/04;C10N30/00;C10N40/22 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 高旭轶;刘力 |
地址: | 日本东京都千*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 水性 加工 | ||
1.一种在通过线锯切割脆性材料时使用的水性加工液,其特征在于其由水溶性高分子和选自防锈剂、摩擦调节剂、消泡剂、金属钝化剂、杀菌剂即防腐剂和pH调节剂中的至少任一种组成,所述水溶性高分子的质均分子量为5×103以上且5×105以下,
所述水溶性高分子具有含氧基团,
所述含氧基团为氧化乙烯基和氧化丙烯基,
并且该水性加工液在25℃下的粘度为1.5mPa·s以上且10mPa·s以下,
所述线锯是锯线的直径为φ0.2mm以下的固定磨粒线锯。
2.如权利要求1所述的水性加工液,其特征在于,以该加工液总量为基准计,所述水溶性高分子的配合量为0.5质量%以上且40质量%以下。
3.如权利要求1或2所述的水性加工液,其特征在于,所述脆性材料为硅锭。
4.如权利要求1或2所述的水性加工液,其特征在于,该水性加工液在25℃下的粘度为2mPa·s以上且10mPa·s以下。
5.如权利要求4所述的水性加工液,其特征在于,该水性加工液在25℃下的粘度为3mPa·s以上且8mPa·s以下。
6.权利要求1或2所述的水性加工液,其特征在于,所述水溶性高分子的质均分子量为7×103以上且3×105以下。
7.权利要求6所述的水性加工液,其特征在于,所述水溶性高分子的质均分子量为7×103以上且1×105以下。
8.权利要求1或2所述的水性加工液,其特征在于,所述水溶性高分子为聚(甲基)丙烯酸、聚(甲基)丙烯酸的金属盐、(甲基)丙烯酸/马来酸共聚物或其金属盐、(甲基)丙烯酸/磺酸共聚物或其金属盐、聚氧亚烷基二醇、聚乙烯醇、烯键式不饱和单体与乙酸乙烯酯的共聚物进行皂化的产物以及改性淀粉中的任一种。
9.权利要求2所述的水性加工液,其特征在于,所述水溶性高分子的配合量为1质量%以上且20质量%以下。
10.权利要求9所述的水性加工液,其特征在于,所述水溶性高分子的配合量为2质量%以上且12质量%以下。
11.权利要求1所述的水性加工液,其特征在于,所述固定磨粒线锯中的锯线的直径为φ0.12mm以下。
12.权利要求11所述的水性加工液,其特征在于,所述固定磨粒线锯中的锯线的直径为φ0.1mm以下。
13.权利要求12所述的水性加工液,其特征在于,所述固定磨粒线锯中的锯线的直径为φ0.08mm以下。
14.权利要求1、和权利要求11~13中任一项所述的水性加工液,其特征在于,所述固定磨粒线锯中的锯线的直径为φ0.06mm以上。
15.权利要求1所述的水性加工液,其特征在于,所述防锈剂为烷基苯磺酸盐、二壬基萘磺酸盐、烯基丁二酸酯、多元醇酯中的任一种。
16.权利要求1所述的水性加工液,其特征在于,所述防锈剂的配合量以该加工液总量为基准计,为0.01质量%以上且5质量%以下。
17.权利要求1所述的水性加工液,其特征在于,所述摩擦调节剂为表面活性剂。
18.权利要求17所述的水性加工液,其特征在于,所述表面活性剂为二醇类。
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