[发明专利]氦气分离材料及其制造方法

权利要求书

1.一种氦气分离材料，其特征在于，其包含基部和与基部接合的气体分离部，所述基部由连通孔的平均直径为50nm～1000nm的α-氧化铝多孔质体构成，所述气体分离部具有含Ni元素的γ-氧化铝多孔质部和配置于所述含Ni元素的γ-氧化铝多孔质部中的连通孔内壁的二氧化硅膜部，由所述二氧化硅膜部包围形成的细孔的平均直径为0.27nm～0.60nm。

2.根据权利要求1所述的氦气分离材料，其在表压超过0.1MPa且12MPa以下的范围的压力条件下使用。

3.根据权利要求1或2所述的氦气分离材料，其中，所述二氧化硅膜部配置于所述γ-氧化铝多孔质部的连通孔内壁上的所述气体分离部的露出面一侧。

4.权利要求1～3中任一项所述的氦气分离材料的制造方法，其具备以下工序：

使用含有含Al成分的溶胶和Ni化合物的组合物在所述α-氧化铝多孔质体的表面上形成涂膜的涂膜形成工序；

对所述涂膜进行加热、形成含Ni元素的γ-氧化铝多孔质膜，获得该γ-氧化铝多孔质膜接合于所述α-氧化铝多孔质体表面的复合体的热处理工序；和

在使二氧化硅前体气体存在于所述复合体中的所述γ-氧化铝多孔质膜的表面附近的状态下，将含氧元素的气体从所述α-氧化铝多孔质体一侧介由所述复合体中的连通孔送气至所述γ-氧化铝多孔质膜一侧，对所述复合体进行加热的二氧化硅膜部形成工序。

5.根据权利要求4所述的氦气分离材料的制造方法，其中，所述二氧化硅前体气体为选自四甲氧基硅烷、四乙氧基硅烷及六甲基二硅氧烷中的至少1种。

6.根据权利要求4或5所述的氦气分离材料的制造方法，其中，所述含氧元素的气体是氧气或臭氧气体。

7.一种氦气的分离方法，其特征在于，在表压超过0.1MPa且12MPa以下的范围的压力条件下使用权利要求1～3中任一项所述的氦气分离材料，从含有氦气的混合气体中将氦气与其他气体分离。