[发明专利]泄漏检测装置以及具有该泄漏检测装置的流体控制器

说明书

技术领域

本发明涉及检测流体泄漏的泄漏检测装置以及具有该泄漏检测装置的流体控制器。

背景技术

作为设有泄漏检测装置的流体控制器，而已知在流体控制器主体上安装有振动传感器(pick up)的流体控制器(专利文献1)。

另外，作为检测流体控制器的泄漏的装置，而已知使用了超声波传感器的装置(专利文献2)。

在先技术文献

专利文献1：日本实开昭61-8850号公报

专利文献2：日本特开2001-305005号公报

在上述专利文献1所述的装置中，具有流体泄漏的检测精度差的问题。如专利文献2那样地，通过使用超声波传感器而提高泄漏检测的精度。专利文献2的泄漏检测装置是根据需要来检测泄漏的装置，并非始终进行监视。为了始终进行监视，需要将泄漏检测装置始终安装在流体控制器主体上，由此，小型化成为课题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种泄漏检测装置及具有该泄漏检测装置的流体控制器，该泄漏检测装置能够实现小型化而始终安装在流体控制器等泄漏检测对象部件上，由此，能够始终监视流体的泄漏。

本发明的泄漏检测装置，检测流体的泄漏，其特征在于，具有：传感器保持体；超声波传感器，其以与泄漏口相对的方式保持在所述传感器保持体上，该泄漏口设在泄漏检测对象部件上并将所述泄漏检测对象部件内的密封部分和外部连通；超声波通路，其设在所述超声波传感器的感应面与所述泄漏口之间；处理电路，其处理由所述超声波传感器得到的超声波。

本发明的流体控制器，其特征在于，由控制流体流动的流体控制器主体、和检测所述流体控制器主体内的流体泄漏的泄漏检测装置构成，在所述流体控制器主体上设有将所述流体控制器主体内的密封部分和外部连通的泄漏口，所述泄漏检测装置是上述的泄漏检测装置。

流体控制器主体例如为公知的隔膜阀，通常设有用于检测泄漏的泄漏口。当因隔膜的破损等而导致流体控制器主体内的密封性被破坏时，流体会从泄漏口泄漏。根据该泄漏，会产生超声波(大约40kHz)，通过超声波传感器能够检测有没有产生超声波，即有无泄漏。处理电路会在持续检测到超声波的情况下发出警报。泄漏检测装置以利用处于超声波产生部位处的泄漏口的方式安装，由此，能够高精度地检测有无泄漏。由此，被小型化的泄漏检测装置能够经由传感器保持体容易地安装在流体控制器主体上，根据如此得到的流体控制器，能够始终监视流体控制器内的泄漏。

上述的泄漏检测装置只要对于设有泄漏口的部件就能够适用，作为泄漏检测对象部件的其他例，而具有在螺母侧面形成有泄漏口的接头。接头的类型没有特别地限定，泄漏检测装置能够适用于使用垫圈来密封的接头、或使用金属箍(ferrule；ring)等来固定的方法等的、使用了设有泄漏口的螺母的各种接头。

发明的效果

根据本发明的泄漏检测装置，使用设在泄漏检测对象部件上的泄漏口，并使超声波感应面对泄漏口，由此，能够提高流体泄漏的检测精度，并实现超声波传感器的小型化。由此，能够将超声波传感器经由传感器保持体始终安装在泄漏检测对象部件上，而能够始终监视泄漏检测对象部件内的泄漏。

附图说明

图1是表示本发明的泄漏检测装置以及具有该泄漏检测装置的流体控制器的一个实施方式的局部剖切侧视图。

图2是图1的俯视图。

图3是流体控制器主体的正视图。

图4是泄漏检测装置的传感器保持体的立体图。

附图标记说明

1：流体控制器，2：流体控制器主体，3：泄漏检测装置，16：泄漏口，21：传感器保持体，22：超声波传感器，23：超声波通路，24：处理电路

具体实施方式

以下，参照附图来说明本发明的实施方式。在以下说明中，上下以及左右指定为图1的上下以及左右。

如图1以及图2所示，流体控制器1由控制(截断开放、流量调整等)流体流动的流体控制器主体(泄漏检测对象部件)2、和检测流体控制器主体2内的流体泄漏的泄漏检测装置3构成。

流体控制器主体2是公知的隔膜阀，虽然省略了内部构成，但如图3所示，流体控制器主体2具有：主体11，其设有入口管接头部12以及出口管接头部13；大致圆筒状的阀盖14，其嵌合覆盖在主体11上部；和壳体15，其安装在阀盖14上方。

在流体控制器主体2的阀盖14上设有用于检测泄漏的泄漏口16，该泄漏口16将流体控制器主体2内的密封部分和外部连通。