[发明专利]表面特征映射

说明书

交叉引用

本申请要求2012年5月9日提交的美国临时专利申请No.61/644,998的权益。

背景技术

在生产线上制造的物品可被检查某些特征，包括可降级物品或包括该物品的系统的性能的缺陷。例如，硬盘驱动器的硬盘可在生产线上被制造并且可被检查某些表面特征，包括可降级硬盘或硬盘驱动器的性能的表面和次表面缺陷。因此，应得可操作以检查物品的特征(诸如缺陷)的装置和方法。

发明内容

本文中所提供的是一种装置，包括用于将光子发射到物品的表面上的光子发射装置；用于检测从物品的表面中的特征散射的光子的光子检测装置；以及用于映射物品的表面中的特征的映射装置，其中此装置被配置成每100秒处理多于一个物品。

参考以下附图、描述以及所附权利要求书将更佳地理解本发明的这些和其它特征和方面。

附图说明

图1提供了根据实施例的示出了物品的表面特征的检测的示意图。

图2提供了根据实施例的示出了从物品的表面特征散射的光子的示意图。

图3提供了根据实施例的示出了从物品的表面特征散射的光子通过光学部件并到光子检测器阵列上的示意图。

图4提供了根据实施例的物品的表面特征的映射的图像。

图5提供了图4所提供的表面特征的映射的特写图像。

图6A(顶部)提供了来自图5所提供的映射的表面特征的特写图，并且图6A(底部)提供了表面特征的光子散射强度分布。

图6B(顶部)提供了来自图6A的表面特征的像素插值图像，并且图6B(底部)提供了表面特征的像素插值的光子散射强度分布。

描述

在更详细地描述本发明的实施例之前，由具有本发明所属领域的普通技术的人员应当理解，本发明不限于本文中所描述和/或示出的特定实施例，因为这些实施例中的元素可变化。同样地应当理解，本文中所描述和/或示出的特定实施例具有可容易地与特定实施例分开并可选地与若干其它实施例中的任何一个进行结合或代替本文中所描述的若干其它实施例中的任何一个中的元素的元素。

由具有本发明所属领域的普通技术的人员也应当理解，这里所用的术语是出于描述本发明的特定实施例的目的，并且该术语不旨在是限制性的。除非另外说明，序数(例如，第一、第二、第三等)被用于区分或识别一组元件或步骤中的不同元件或步骤，并且不在所声称的发明的元件或步骤或本发明的特定实施例上提供序列或数值限制。例如“第一”、“第二”和“第三”元件或步骤不需要必须以该顺序出现，并且所声称的发明或本发明的特定实施例不需要必须被限制于三个元件或步骤。还应当理解，除非另外说明，任何标记，诸如“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“正向”、“反向”、“顺时针”、“逆时针”、“上”、“下”或其它类似的术语，诸如“上部”、“下部”、“尾部”、“头部”、“垂直的”、“水平的”、“近端的”、“远端的”等等是为了方便而使用并且不旨在意味着，例如，任何特定的固定位置、取向或方向。相反，这些标记被用于反映，例如，相对位置、取向或方向。还应当理解，“一”、“一种”以及“该”的单数形式包括复数引用，除非上下文明确地指出相反情况。

除非另外定义，否则本文所使用的所有技术和科学术语具有与本发明所属领域的普通技术人员所共知的一样的意思。

在生产线上制造的物品可被检查某些特征，包括可降级物品或包括该物品的系统的性能的缺陷。例如，硬盘驱动器的硬盘可在生产线上被制造并且可被检查某些表面特征，包括可降级硬盘或硬盘驱动器的性能的表面和次表面缺陷。本文中所提供的是用于检查物品以检测和/或映射某些表面特征(诸如表面和/或次表面缺陷)的装置和方法。现在将更详细地描述本发明的实施例。