[发明专利]用于生成由石英玻璃制成的柱体的方法

权利要求书

1.用于通过以下步骤生成由石英玻璃制成的柱体的方法：

-生成灰粉体，其中使用至少两个沉积燃烧器来将用于质量沉积的SiO₂颗粒沉积在围绕其纵向轴线旋转的基材上，每个沉积燃烧器被供应第一供给介质、第二供给介质和第三供给介质，所述第一供给介质包含含硅原料介质，所述第二供给介质包含燃料介质，所述第三供给介质是支持介质，其中所述支持介质是氧化剂；

-使所述灰粉体玻璃化以形成石英玻璃柱体；

其特征在于，在生成和玻璃化所述灰粉体之前，实施包括以下步骤的方法：

a) 生成第一测试灰粉体，其中使用所述至少两个沉积燃烧器来将用于质量沉积的SiO₂颗粒沉积在围绕其纵向轴线旋转的基材上；

b) 确定所述第一测试灰粉体沿轴向方向的密度分布；

c) 使用所述至少两个沉积燃烧器通过如下操作来生成第二测试灰粉体：将所述第一供给介质中的被供应至每个沉积燃烧器的含硅原料介质的量保持恒定、基于所确定的第一测试灰粉体的轴向密度分布来改变供应到相应沉积燃烧器的所述第二供给介质和/或第三供给介质的量，根据所确定的第一测试灰粉体的轴向密度分布来设定第二测试灰粉体的轴向密度分布；

d) 使所述第二测试灰粉体玻璃化，以便形成测试石英玻璃柱体；

e) 确定所述测试石英玻璃柱体沿轴向方向的质量分布；

f) 根据所确定的测试石英玻璃柱体的轴向质量分布，设定待借助于所述沉积燃烧器沉积在基材上的SiO₂颗粒的质量沉积，使得借助于所述沉积燃烧器生成的玻璃化的灰粉体的质量分布相对于所述测试石英玻璃柱体的轴向质量分布变得更均匀；

其中，在实际上生成石英玻璃柱体之前重复地执行步骤a)-f)，使得所生成的石英玻璃柱体具有在轴向方向上恒定的外径。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在根据方法步骤f)设定待借助于沉积燃烧器沉积在基材上的SiO₂颗粒的质量沉积时，能够附加地调节待借助于沉积燃烧器生成的灰粉体的轴向密度分布，其中轴向密度分布的调节是基于待借助于沉积燃烧器生成的灰粉体的轴向密度分布的变化，其预期源自质量沉积的设定。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在实施方法步骤f)之后重复方法步骤a和b，并根据在重复的方法步骤b)中确定的轴向密度分布，调节待借助于沉积燃烧器生成的灰粉体的轴向密度分布。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，第一供给介质的至少一部分和/或第二供给介质的至少一部分和/或第三供给介质的至少一部分被单独地供应至相应的沉积燃烧器。

5.根据权利要求1或4所述的方法，其特征在于，第一供给介质的至少一部分和/或第二供给介质的至少一部分和/或第三供给介质的至少一部分作为混合物被供应至相应的沉积燃烧器。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，至少一种燃料气体包含氢气、甲烷、丙烷或丁烷或天然气。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述含硅原料介质属于硅氧烷或硅烷的组。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，在实施步骤d)到f)之前实施步骤a)到c)至少两次。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，为了确定第一测试灰粉体的密度分布，使用CT方法测量所述测试灰粉体的密度。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，所述测试石英玻璃柱体的轴向质量分布通过测量所述测试石英玻璃柱体的轴向外径轮廓得到确定。

11.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其特征在于，在步骤c)中，所述第二测试灰粉体的轴向密度分布被变得更均匀。