[发明专利]法布里‑珀罗干涉仪及其生产方法

权利要求书

1.一种可控法布里-珀罗干涉仪，包括处于彼此基本上平行的位置上的第一反射镜(31)和第二反射镜(61)并且在所述第一反射镜与所述第二反射镜之间具有间隙(36)；在所述第一反射镜与所述第二反射镜之间的至少一个可控致动器(34a，34b，34c)，用于控制所述间隙的宽度；以及处于所述反射镜中的电极，所述电极用于所述间隙的宽度的电容测量，其特征在于，所述法布里-珀罗干涉仪包括位于反射镜与致动器之间的中间结构，其中，所述中间结构被布置为减少所述法布里-珀罗干涉仪的反射镜的弯曲。

2.根据权利要求1所述的可控法布里-珀罗干涉仪，其特征在于，所述中间结构包括杆(98a，98b，98c)，所述杆在所述杆的第一表面上附接(67a，67b，67c)至所述致动器的表面，并且在所述杆的第二表面上进一步附接(97a，97b，97c)至反射镜的诸如通孔(99a，99b，99c)的腔的边缘。

3.根据权利要求1所述的可控法布里-珀罗干涉仪，其特征在于，所述中间结构包括支撑板(82，92)，其中，反射镜被附接至所述支撑板，并且所述支撑板被附接至所述致动器。

4.根据权利要求3所述的可控法布里-珀罗干涉仪，其特征在于，所述干涉仪包括在所述反射镜(31，61)与所述支撑板(82，92)之间的作为粘合剂(84a，84b，94a，94b)的弹性胶。

5.根据权利要求1所述的可控法布里-珀罗干涉仪，其特征在于，所述干涉仪具有正好三个致动器(34a，34b，34c)。

6.根据权利要求1所述的可控法布里-珀罗干涉仪，其特征在于，所述致动器是压电致动器、电致伸缩致动器或挠曲电致动器。

7.一种用于制造可控法布里-珀罗干涉仪的方法(720)，其中，至少一个致动器被直接或间接地附接至第一反射镜(728)，以及第二反射镜被直接或间接地附接至所述至少一个致动器的第二、相对的部分(744)，其特征在于，将所述第二反射镜附接至所述至少一个致动器包括：

-将所述第二反射镜附接至至少一个中间结构；以及

-将一个或多个中间结构附接至一个或多个致动器。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，使用弹性胶进行所述中间结构与所述反射镜之间的附接。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述中间结构包括杆，并且在所述致动器与所述第二反射镜之间的附接包括：在所述杆的第一表面上将所述杆附接至所述致动器的表面；以及在所述杆的第二表面上将所述杆进一步附接至诸如所述第二反射镜的通孔的腔的边缘。