[发明专利]高功率脉冲涂装方法

权利要求书

1.一种用于借助于雾化目标材料涂装具有要涂装的衬底表面的衬底的方法，其中包括下列步骤：

-在涂装室中以功率脉冲施加由第一材料制成的在涂装源上布置的第一溅射目标，借助于所述功率脉冲在第一时间间隔期间将第一能量量传递到溅射目标上，其中对此最大功率密度超过50W/cm²，

-在所述涂装室中以功率脉冲施加与第一材料不同的第二材料制成的在另外的涂装源上布置的第二溅射目标，借助于所述功率脉冲在第二时间间隔期间将第二能量量传递到溅射目标上，其中在此最大功率密度超过50W/cm²，

其特征在于，通过DC功率供应装置借助于开关顺序地并且在没有中断功率输送的情况下将至少相应的功率脉冲施加到所述第一和第二溅射目标上，并且其中将反应气体引入到所述涂装室中，并且通过来自第一溅射目标的材料和来自第二溅射目标的材料与反应气体的反应来在要涂装的衬底表面上施加混合晶层，其中为了施加混合晶层到要涂装的衬底表面上如此操作至少第一和第二溅射目标，分别适合于目标材料的工作点通过相应的功率脉冲的脉冲持续时间分离地调节，使得所述第一时间间隔和所述第二时间间隔持续不同长，并且因此第一能量量与第二能量量不同。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一和第二能量量如此传递到所述溅射目标上，使得最大功率密度超过500W/cm²。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，分别适合于目标材料的工作点通过功率脉冲的功率和脉冲持续时间调节。

4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，工作点各位于过渡区域中。

5.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其特征在于，第二时间间隔选择成比第一时间间隔更长。

6.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其特征在于，第一和第二时间间隔在10µs和100ms之间选择。

7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，第一和第二时间间隔在50µm和5ms之间选择。

8.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其特征在于，第一材料和第二材料包括来自群的元素，所述群由下列形成：

元素钛，铝，硅，铬，硼，碳以及这些元素中的两个或多个的组合。

9.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其特征在于，第一材料和第二材料包括来自群的元素，所述群由下列形成：

元素周期系统的族4A，4B的元素以及这些元素中的两个或多个的组合。

10.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其特征在于，在要涂装的衬底上至少短时地与功率脉冲同步安置衬底偏置，所述衬底偏置按照目标被选择。

11.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其特征在于，在所述方法期间使用惰性气体作为工作气体其中使用来自元素He，Ne，Ar，Kr的群或两个或多个的组合的惰性气体。

12.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其特征在于，在所述方法期间至少暂时地使用来自元素或化合物N₂，0₂，C₂H₂，CH₄，硅烷，C0₂的群或多个群成员的组合的反应气体。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述硅烷是TMS。

14.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其特征在于，为了沉积混合晶层同时运行目标。

15.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其特征在于，所述衬底相对于涂装源如此布置，要涂装的衬底表面周期地在涂装源旁边经过，其中对此产生的层不仅沉积为均匀混合晶而且为由多个毫微层构成的层，其中从毫微层到相邻地，层组成改变。