[发明专利]扫描照明技术

权利要求书

1.一种用于操作成像系统的方法，所述方法包括：

通过以垂直于物镜部件的光学轴的方向在所述物镜部件下方的第一移动路径上移动定位台，在所述成像系统中经由CMOS或sCMOS相机收集置于所述定位台上的底物的一部分的二维图像，其中所述图像跨越所述相机中的传感器元件的多行像素；

当所述相机收集所述底物的一部分的图像时，执行以下步骤：

通过配合所述定位台的移动同步并连续地改变扫描镜的角度以使得在所述底物连续移动的过程中由所述物镜部件获取的、所述底物的一部分的所述图像相对于所述相机保持静止，横跨所述底物的一部分扫描光条从而曝光由所述图像跨越的第一至少一行像素，同时使由所述图像跨越的第二至少一行像素保持在黑暗中，其中，改变所述扫描镜的角度包括在第一时间间隔期间横跨所述底物的一部分扫描所述光条、以及在第二时间间隔期间所述扫描镜返回初始位置；以及

读出所述第一至少一行像素，同时继续横跨所述底物的一部分扫描所述光条从而曝光所述第二至少一行像素。

2.根据权利要求1所述的方法，其中

改变所述扫描镜的角度与横跨所述底物的一部分扫描所述光条配合执行。

3.根据权利要求1所述的方法，其中：

所述方法还包括在所述第二时间间隔期间中止横跨所述底物的一部分扫描所述光条。

4.根据权利要求3所述的方法，其中

所述第一时间间隔大于所述第二时间间隔。

5.根据权利要求1所述的方法，其中

当所述底物沿着垂直于所述物镜部件的光学轴的方向移动时，执行对所述第一至少一行像素的读出。

6.根据权利要求1所述的方法，其中

横跨所述底物的一部分扫描所述光条包括改变照明镜的角度以将光从条发生器反射至所述底物的一部分上。

7.根据权利要求6所述的方法，其中

改变所述照明镜的角度由被配置成使所述照明镜倾斜的伺服机构实现。

8.根据权利要求6所述的方法，还包括：

在所述成像系统的物镜部件下方移动所述底物；

改变扫描镜的角度，使得当所述底物移动时，由所述物镜部件获取的、所述底物的一部分的图像相对于所述相机保持静止。

9.根据权利要求1所述的方法，还包括

在曝光所述第一至少一行像素的步骤与读出所述第一至少一行像素的步骤之间使所述第一至少一行像素保持黑暗。

10.根据权利要求1所述的方法，其中

所述相机包括至少具有第一部分和第二部分的分开读出传感器，并且扫描所述光条和读出所述光条的步骤在所述分开读出传感器的每个部分中独立执行。

11.根据权利要求10所述的方法，其中

所述第一部分中的扫描和读出步骤与所述第二部分中的扫描和读出步骤并行执行。

12.根据权利要求10所述的方法，其中

所述第一部分中的扫描和读出步骤与所述第二部分中的扫描和读出步骤反并行执行。

13.根据权利要求1所述的方法，还包括

当所述相机收集所述底物的一部分的所述图像时，读出所述第二至少一行像素同时继续横跨所述底物扫描所述光条从而曝光由所述图像跨越的第三至少一行像素，其中所述第三至少一行像素不同于所述第二至少一行像素。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，所述第三至少一行像素不同于所述第一至少一行像素。