[发明专利]光学测量探针和用于内直径和外直径的光学测量的方法

权利要求书

1.用于测量物体的内直径和/或外直径的光学测量探针，所述光学测量探针具有用于将光束聚焦或对准到物体的表面上的第一光学元件，其特征在于，在所述光学测量探针（10）中如此设置用于将光束（13）分成第一测量光束（14）和第二测量光束（16）的第二光学元件（20），从而使得所述第二测量光束（16）反向于所述第一测量光束（14）的方向从所述光学测量探针（10）中导出，并且所述第一测量光束（14）构成第一探测点（15）而所述第二测量光束（16）构成第二探测点（17），其中，在第一步骤中所述光学测量探针（10）如此定位到第一测量位置上，从而使得所述第一探测点（15）位于物体的第一表面上；其中，在第二步骤中包含所述光学测量探针的探测臂如此定位到第二测量位置上，从而使得所述第二探测点（17）位于物体的第二表面上；并且其中，所述表面的间距由所述第一测量位置与所述第二测量位置之间的间距和所述第一探测点（15）与所述第二探测点（17）之间的校准间距确定，其中，在一条共同的直线上沿相反的方向引导所述第一测量光束（14）和所述第二测量光束（16）。

2.根据权利要求1所述的光学测量探针，其特征在于，垂直于包含所述光学测量探针的探测臂的机械轴线引导所述第一测量光束（14）和所述第二测量光束（16）。

3.根据权利要求1所述的光学测量探针，其特征在于，所述第二光学元件（20）构造为棱镜对，或者所述第二光学元件（20）由分束镜和紧接着的镜面构成。

4.根据权利要求1所述的光学测量探针，其特征在于，所述光学测量探针（10）通过光导体（11）与分析处理单元耦合。

5.根据权利要求1所述的光学测量探针，其特征在于，所述第二光学元件（20）构造为偏振光学元件，并且所述第一测量光束（14）和所述第二测量光束（16）程度不同地偏振。

6.根据权利要求4所述的光学测量探针，其特征在于，在所述分析处理单元中存储有在所述第一测量光束（14）的第一探测点（15）与所述第二测量光束（16）的第二探测点（17）之间的间距；和/或设计所述分析处理单元以便控制用于探测臂的运动的调整元件；和/或所述分析处理单元与用于确定在第一测量位置与第二测量位置之间的间距的测量机构连接。

7.用于利用测量仪器和光学测量探针（10）光学测量物体的内直径和/或外直径的方法，其中将光束由所述光学测量探针（10）聚焦到物体的表面上，其特征在于，在所述光学测量探针（10）中的光束分成具有第一探测点（15）的第一测量光束（14）和具有与所述第一探测点（15）正好对置的第二探测点（17）的第二测量光束（16）；在第一步骤中所述光学测量探针（10）如此定位到第一测量位置上，从而使得所述第一探测点（15）位于物体的第一表面上；在第二步骤中包含所述光学测量探针的探测臂如此定位到第二测量位置上，从而使得所述第二探测点（17）位于物体的第二表面上；并且所述表面的间距由所述第一测量位置与所述第二测量位置之间的间距和所述第一探测点（15）与所述第二探测点（17）之间的校准间距确定，其中，在一条共同的直线上沿相反的方向引导所述第一测量光束（14）和所述第二测量光束（16）。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，将所述第一测量光束（14）和所述第二测量光束（16）垂直于所述探测臂的机械轴线地引导到表面上。

9.根据权利要求7或8所述的方法，其特征在于，在所述第一探测点（15）与所述第二探测点（17）之间的校准间距在一个校准步骤中在一个校准物体上以已知的形式确定；并且所述校准间距存储在分析处理单元中。