[发明专利]感光性树脂元件的制造方法有效
申请号: | 201380038469.8 | 申请日: | 2013-07-19 |
公开(公告)号: | CN104471482B | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 五十岚勉;木野智博 | 申请(专利权)人: | 旭化成株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/033 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 元件 制造 方法 | ||
本发明的课题是提供生产率优异且外观良好的感光性树脂元件的制造方法,提供感光性树脂元件的制造方法,其包括以下的工序:将(a)羧基含量以酸当量计为100~600、且重均分子量为5000~500000的粘结剂用树脂、(b)能够光聚合的不饱和化合物、(c)光聚合引发剂、(d)丙酮和(e)非丙酮溶剂进行调合,从而得到调合液的工序,此处,该(d)丙酮的质量相对于该(d)丙酮和该(e)非丙酮溶剂的总计质量的比率为30质量%~98质量%,并且该调合液中的总固体成分的比率为30质量%~80质量%;以及将该调合液应用于支撑层上并进行干燥,从而在该支撑层上形成感光性树脂元件的工序。
技术领域
本发明涉及感光性树脂元件的制造方法等。
背景技术
用于制作印刷电路的感光性树脂组合物的制造方法一般包括将粘结剂用树脂、能够光聚合的不饱和化合物、光聚合引发剂、染料等在以甲乙酮为代表的酮类、以醋酸乙酯为代表的酯类、以四氢呋喃为代表的醚类等为主成分的溶剂中均匀搅拌溶解的工序。例如,专利文献1中描述了通过使用甲乙酮/1-甲氧基-2-丙醇=2/1(重量比)的混合溶剂来调制的感光性树脂调合液。另外,还可以使用模涂机等将所得调合液均匀地涂布在作为支撑层的聚酯薄膜等上,在干燥工序中使溶剂干燥,获得感光性树脂层叠体。再有,还可以层压作为保护层的聚乙烯薄膜等而获得三层结构的感光性树脂层叠体。这些层叠体一般称为干膜光致抗蚀剂(以下简称为“DF”)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开平11-143069号公报
发明内容
然而,在使用甲乙酮作为溶剂的主成分的现有制造方法中,粘结剂用树脂与能够光聚合的不饱和化合物的溶解性和染料等添加剂的溶解性不充分,在过滤调合液时过滤器经常被堵塞。另外,从降低所制造的DF的表面的微小凹凸、降低在外观的目视检查中观察到不均的频率的观点出发,仍有改良的余地。
因此,本发明的课题是提供生产率优异且外观良好的感光性树脂元件的制造方法。
本发明人等为了解决上述课题进行了反复深入的研究,结果发现,在制作上述调合液时使用包含丙酮的混合溶剂而制作感光性树脂组合物时,生产率提高,所制造的DF的外观没有不均等,是良好的,由此完成了本发明。即,本发明如下所述。
[1]一种感光性树脂元件的制造方法,其包括以下的工序:
将(a)羧基含量以酸当量计为100~600、且重均分子量为5000~500000的粘结剂用树脂、
(b)能够光聚合的不饱和化合物、
(c)光聚合引发剂、
(d)丙酮、和
(e)非丙酮溶剂
进行调合,从而得到调合液的工序,此处,该(d)丙酮的质量相对于该(d)丙酮和该(e)非丙酮溶剂的总计质量的比率为30质量%~98质量%,并且该调合液中的总固体成分的比率为30质量%~80质量%;以及
将该调合液应用于支撑层上并进行干燥,从而在该支撑层上形成感光性树脂元件的工序。
[2]根据第[1]项所述的方法,其中,所述(e)非丙酮溶剂选自由醇、酯和醚组成的组。
[3]根据第[2]项所述的方法,其中,所述醇为选自由甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇和正丁醇组成的组。
[4]根据第[3]项所述的方法,其中,所述醇为乙醇。
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