[发明专利]缺陷分类装置、缺陷分类方法、控制程序和记录介质

权利要求书

1.一种缺陷分类装置，是对拍摄在表面形成有薄膜的检查对象物而得到的检查图像中检测出的缺陷区域的缺陷进行分类的缺陷分类装置，其特征在于，具备：

特征量算出单元，其算出表示作为上述缺陷区域的一部分的沿着该缺陷区域的外周的环状的区域即外周区域中包含的像素的颜色和作为上述缺陷区域外的区域的与上述外周区域相邻的非缺陷区域的像素的颜色之间的差异的大小的特征量；以及

缺陷分类单元，其基于上述特征量算出单元所算出的上述特征量，将上述缺陷区域的缺陷分类为相对于上述薄膜在上述检查对象物的内部侧存在异物的膜内异物缺陷，或者分类为相对于上述薄膜在上述检查对象物的外部侧存在异物的膜上异物缺陷。

2.根据权利要求1所述的缺陷分类装置，其特征在于，

具备区域设定单元，上述区域设定单元基于上述缺陷区域中包含的各像素的亮度值来设定上述外周区域。

3.根据权利要求1或者2所述的缺陷分类装置，其特征在于，

上述特征量算出单元算出对上述外周区域中包含的像素的色相的代表值与上述非缺陷区域中包含的像素的色相的代表值的差乘以上述外周区域中包含的像素的彩度的代表值而得到的值作为上述特征量。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的缺陷分类装置，其特征在于，

具备区域宽度算出单元，上述区域宽度算出单元算出上述外周区域的环的宽度，

上述缺陷分类单元在上述特征量算出单元所算出的上述特征量大于等于基于颜色的缺陷分类用的预先决定的阈值且上述区域宽度算出单元所算出的宽度大于等于基于区域宽度的缺陷分类用的预先决定的阈值的情况下，将上述缺陷区域的缺陷分类为膜内异物缺陷。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的缺陷分类装置，其特征在于，

具备第1差算出单元，上述第1差算出单元算出上述外周区域中包含的像素的亮度值的代表值与作为上述缺陷区域内的上述外周区域以外的区域的内部区域中包含的像素的亮度值的代表值的差，

上述缺陷分类单元在上述特征量算出单元所算出的上述特征量大于等于基于颜色的缺陷分类用的预先决定的阈值并且上述第1差算出单元所算出的亮度值的差大于等于基于上述外周区域与内部区域的亮度差的缺陷分类用的预先决定的阈值的情况下，将上述缺陷区域的缺陷分类为膜内异物缺陷。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的缺陷分类装置，其特征在于，

具备第2差算出单元，上述第2差算出单元算出上述外周区域中包含的像素的亮度值的代表值与上述非缺陷区域中包含的像素的亮度值的代表值的差，

上述缺陷分类单元在上述特征量算出单元所算出的上述特征量大于等于基于颜色的缺陷分类用的预先决定的阈值并且上述第2差算出单元所算出的亮度值的差小于基于上述外周区域与非缺陷区域的亮度差的缺陷分类用的预先决定的阈值的情况下，将上述缺陷区域的缺陷分类为膜内异物缺陷。

7.一种缺陷分类装置，是对拍摄在表面形成有薄膜的检查对象物而得到的检查图像中检测出的缺陷区域的缺陷进行分类的缺陷分类装置，其特征在于，具备：

特征量算出单元，其算出表示作为上述缺陷区域的一部分的沿着该缺陷区域的外周的环状的区域即外周区域中包含的像素的颜色与上述缺陷区域内的上述外周区域以外的区域即内部区域的像素的颜色之间的差异的特征量；以及

缺陷分类单元，其基于上述特征量算出单元所算出的上述特征量，将上述缺陷区域的缺陷分类为相对于上述薄膜在上述检查对象物的内部侧存在异物的膜内异物缺陷，或者分类为相对于上述薄膜在上述检查对象物的外部侧存在异物的膜上异物缺陷。

8.一种缺陷分析方法，采用对拍摄在表面形成有薄膜的检查对象物而得到的检查图像中检测出的缺陷区域的缺陷进行分类的缺陷分类装置，其特征在于，具备：

特征量算出步骤，算出表示作为上述缺陷区域的一部分的沿着该缺陷区域的外周的环状的区域即外周区域中包含的像素的颜色和作为上述缺陷区域外的区域的与上述外周区域相邻的非缺陷区域的像素的颜色之间的差异的大小的特征量；以及

缺陷分类步骤，基于在上述特征量算出步骤中算出的上述特征量，将上述缺陷区域的缺陷分类为相对于上述薄膜在上述检查对象物的内部侧存在异物的膜内异物缺陷，或者分类为相对于上述薄膜在上述检查对象物的外部侧存在异物的膜上异物缺陷。