[发明专利]用于为等离子体处理产生并维持等离子体的装置有效
| 申请号： | 201380040017.3 | 申请日： | 2013-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN104641448B | 公开（公告）日： | 2017-04-05 |
| 发明（设计）人： | P·奥济梅克;A·克利梅扎克;M·泽莱科斯基;M·戈兰 | 申请（专利权）人： | 通快许廷格有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 王英,陈松涛 |
| 地址： | 波兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 等离子体 处理 产生 维持 装置 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于通快许廷格有限公司，未经通快许廷格有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201380040017.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
