[发明专利]具有精密结构凹槽的划线轮

权利要求书

1.一种具有预定厚度和盘形状的划线轮，所述划线轮包括：

轮体，其包括边缘部，所述边缘部被设置成所述轮体的至少外周边缘部的厚度从中心至轴向外侧被逐渐减小使得所述外周边缘部的第一和第二侧表面会聚在所述边缘部上，和

切割部，其包括沿着所述外周边缘部交替设置的凹槽和切割片齿，

其中所述凹槽的每一个通过将第一和第二侧凹槽部以及边缘凹槽部组合而形成，所述第一和第二侧凹槽部通过将会聚在所述边缘部上的所述第一和第二侧表面的部分凹陷而分别形成，所述边缘凹槽部通过将所述边缘部的一部分凹陷而形成。

2.根据权利要求1所述的划线轮，其中所述第一和第二侧凹槽部以这样的方式彼此分开从而具有预定宽度(W)，即形成所述侧凹槽部的相对侧壁在它们之间具有预定角度使得所述相对侧壁的下边缘在它们之间的中心会聚并且形成线性结构。

3.根据权利要求1所述的划线轮，其中所述第一和第二侧凹槽部以这样的方式彼此分开从而具有预定的宽度(W)，即形成所述侧凹槽部的相对侧壁在它们之间具有预定角度使得所述相对侧壁的下边缘在它们之间的中心会聚，其中在所述相对侧壁之间的所述宽度(W)随着距离所述边缘部的距离增大而减小。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的划线轮，其中所述边缘凹槽部包括：通过将在边缘部上通过会聚所述第一和第二侧凹槽部的两个所述相对侧壁以及所述相对侧壁的会聚的下边缘而形成的边缘凹陷而形成的相对侧表面；和连接所述相对侧表面的下表面，由此所述凹槽具有马鞍形结构。

5.根据权利要求4所述的划线轮，其中随着距离所述下表面的距离减小，所述第一和第二侧凹槽部的每一个的下部形成平缓连接至所述下表面的倾斜表面，并且随着距离所述下表面的距离增大形成线性结构。

6.根据权利要求4所述的划线轮，其中随着距离所述边缘凹槽部的距离增大，所述第一和第二侧凹槽部的每一个的深度减小。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的划线轮，其中在所述边缘部上的所述第一和第二侧凹槽部之间的所述宽度(W)的范围是1μm至10μm。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的划线轮，其中所述凹槽的每一个的深度(H)等于所述边缘凹槽部的深度，并且范围是0.5μm至6μm。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的划线轮，其中凹槽的每一个的长度(L)等于所述侧凹槽部的长度，并且范围是1μm至20μm。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的划线轮，其中所述轮体的所述外周边缘部的所述第一和第二侧表面在它们之间形成预定角度(2θ)。

11.根据权利要求10所述的划线轮，其中在所述轮体的所述外周边缘部的所述第一和第二侧表面之间的所述预定角度(2θ)范围是80°至120°。

12.根据权利要求4所述的划线轮，其中在所述凹槽的所述第一和第二侧凹槽部以及所述边缘凹槽部上形成的边缘是圆状的。

13.根据权利要求1至3中任一项所述的划线轮，其中通过将超快激光束应用至其，同时形成所述凹槽的所述第一和第二侧凹槽部以及所述边缘凹槽部。

14.根据权利要求13所述的划线轮，其中所述超快激光束具有飞秒或皮秒脉冲宽度。