[发明专利]用于构造薄膜反射镜的方法和装置

权利要求书

1.一种用于构造薄膜反射镜的装置，所述装置包括：

具有边缘的真空腔室；

邻近所述真空的第一扩展器，所述第一扩展器具有边缘，所述第一扩展器的边缘在两个方向上与所述真空腔室的所述边缘隔开并延伸超出所述真空腔室的所述边缘；

在与所述第一扩展器相对的一侧大体上邻近所述真空腔室的第二扩展器，所述第二扩展器具有边缘，所述第二扩展器的边缘在两个方向上与所述真空腔室的所述边缘隔开并延伸超出所述真空腔室的所述边缘；

其中，从所述第一扩展器的边缘延伸到所述第二扩展器的边缘的线不会与所述真空腔室的所述边缘相交。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一扩展器或所述第二扩展器中的至少一个扩展器具有大体上L形的横截面，使得当邻近所述真空腔室布置时，所述第一扩展器或所述第二扩展器与所述真空腔室的组合具有大体上U形的横截面。

3.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中，所述第一扩展器或所述第二扩展器中的至少一个扩展器的端部不是密封的。

4.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中，由所述第一扩展器与所述真空腔室形成密封腔室。

5.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中，所述第一扩展器的边缘和所述第二扩展器的边缘中的每一个边缘包括用于安装薄膜的大体上平面的安装表面。

6.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中，所述第一扩展器的边缘关于所述第一扩展器的剩余部是能够调节的，或者，所述第二扩展器的边缘关于所述第二扩展器的剩余部是能够调节的。

7.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中，所述第一扩展器和所述第二扩展器中的每一个扩展器在结构上是刚性的。

8.根据前述权利要求中任一项所述的装置，还包括至少一个邻近所述真空腔室的拉杆。

9.根据前述权利要求中任一项所述的装置，还包括至少一个在所述真空腔室的边缘与所述第一扩展器的边缘或所述第二扩展器的边缘中的一个边缘之间的拉杆。

10.根据权利要求8至9中任一项所述的装置，还包括多个适合于向所述拉杆施加力的拉紧器件。

11.根据权利要求9所述的装置，其中，所述多个拉紧器件中的至少一个拉紧器件适合于固定到所述第一扩展器或所述第二扩展器中的至少一个扩展器上。

12.根据前述权利要求中任一项所述的装置，还包括覆膜附件，所述覆膜附件位于所述真空腔室关于所述薄膜反射镜的取向的一侧，并且所述覆膜附件适合于与所述真空腔室、所述第一扩展器和所述第二扩展器紧密配合。

13.根据权利要求12所述的装置，其中，所述覆膜附件包括对应于所述第一扩展器的边缘和所述第二扩展器的边缘的第一组膜安装表面延伸部，以及对应于第一真空腔室的边缘和第二真空腔室的边缘的第二组膜安装表面延伸部。

14.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中，所述第一扩展器的边缘和所述第二扩展器的边缘沿着大体上圆弧布置。

15.根据权利要求14所述的装置，其中，所述第一扩展器的边缘、所述真空腔室的边缘和所述第二扩展器的边缘沿着大体上圆弧布置。

16.根据前述权利要求中任一项所述的装置，其中，所述第一扩展器的边缘和所述第二扩展器的边缘相对于所述薄膜反射镜的取向位于所述真空腔室的上方和下方。

17.根据前述权利要求中任一项所述的装置，还包括在所述真空腔室的邻近所述第一扩展器的边缘上或在所述真空腔室的邻近所述第二扩展器的边缘上的夹具。

18.一种使用前述权利要求中任一项所述的装置构造的薄膜反射镜。